收藏本站
《中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集》2004年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

显微图像识别在硅传感器自动键合中的应用

孙立宁  谢晖  荣伟彬  陈立国  
【摘要】:介绍了显微图像识别技术在压阻式压力传感器批量化自动静电键合中的应用。为了保证传感器产品的一致性和性能,在静电键合过程中,须对准芯片敏感电路和基片导压孔中心,对齐芯片和基片的边缘。目前, 传感器静电键合几乎还处于手工操作阶段,很难实现高精度对准。应用显微图像识别技术,解决了静电键合过程中的自动对准以及键合质量自动检测的关键问题。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 王海军,钱照明,刘宏岩,叶挺秀;红外热像法无损分析硅片直接键合界面的键合强度[J];半导体技术;1996年02期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 邱望标;朱金亮;;基于OpenCV的烟叶图像处理技术[J];安徽农业科学;2010年26期
2 李宝安;李艳平;;Img—Learning图像处理与模式识别教学实例学习系统[J];办公自动化;2007年16期
3 闫枫;吴斌;;视觉检测系统中的光源照明方法[J];兵工自动化;2006年11期
4 乔爱科;马章军;;基于子图像的生物芯片质量检测算法[J];北京工业大学学报;2008年01期
5 曲直;数字图像处理技术在宝石学中的应用及发展[J];宝石和宝石学杂志;2005年02期
6 王娟;;非线性扩散在图像分割中的运用[J];才智;2009年26期
7 曲昀卿;张永生;;图像处理与识别在车轮踏面故障检测中的应用[J];才智;2010年04期
8 方平;丁凡;李其朋;;电子雕刻系统光栅图像处理器的研究[J];传感技术学报;2005年04期
9 胡圣武,潘正风,梅天灿;数字图像处理的技术及其在GIS中的应用[J];测绘通报;2004年05期
10 吴海滨;夏需堂;;基于线阵CCD的车轮表面缺陷检测系统的图像预处理研究[J];巢湖学院学报;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 谭守标;霍剑青;郝建;王晓蒲;赵永飞;谢行恕;;高分辨率软X射线显微成像下细胞的自动提取?[A];2005年“数字安徽”博士科技论坛论文集[C];2005年
2 张友华;叶勇;;苹果形色特征的自动提取[A];现代农业理论与实践——安徽现代农业博士科技论坛论文集[C];2007年
3 周灿林;李剑峰;徐建强;李方义;高成勇;司书春;王红星;;铝盖质量光学在线检测研究[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
4 王斐斐;魏建兵;文雅;吴志峰;;遥感湿地信息提取方法研究评述[A];全国国土资源与环境遥感应用技术研讨会论文集[C];2009年
5 赵洋;徐小青;王景中;;基于图像识别的钢管厚度测量技术的研究[A];2006北京地区高校研究生学术交流会——通信与信息技术会议论文集(下)[C];2006年
6 徐海卫;牛朝;周倩;;基于遗传算法的最大类间方差图像分割及实现[A];'2008系统仿真技术及其应用学术会议论文集[C];2008年
7 牛晓丽;龙绪明;姚舟波;;基于DSP的SMT焊点质量检测系统的研究[A];2007中国高端SMT学术会议论文集[C];2007年
8 夏颖;戴曙光;苏添发;;基于不变矩匹配的车灯零件检测[A];2007'仪表,自动化及先进集成技术大会论文集(二)[C];2007年
9 李福凤;邸丹;李晓强;王忆勤;钱鹏;郑晓燕;刘国萍;;基于计算机技术的中医面色诊信息采集与识别研究[A];第六次全国中西医结合中青年学术研讨会论文集[C];2008年
10 宋艳;吴晓鸣;邢冀川;;激光辐射器的性能测试系统[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(C 激光技术与应用专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 包健;有限精度权值神经网络优化的研究与应用[D];华东理工大学;2011年
2 鲁志波;医学图像增强与插值的算法研究[D];解放军信息工程大学;2007年
3 张寿明;基于冶炼过程及终点判断技术的烟化炉智能控制系统研究[D];昆明理工大学;2009年
4 郑泽忠;基于高分辨率航空影像高速公路汽车目标检测算法研究[D];西南交通大学;2010年
5 唐建兵;雌激素在黄褐斑发病中的作用及黄褐斑的治疗研究[D];南方医科大学;2011年
6 张达;图像处理中基于多信息融合的目标定位方法的研究及应用[D];东北大学;2009年
7 山海涛;基于影像序列的目标三维重构理论及关键技术研究[D];解放军信息工程大学;2011年
8 朱江;非结构环境下的移动机器人认知与导航避障方法研究[D];湖南大学;2011年
9 李子梅;基于近景摄影测量的石质文物裂隙识别定位的研究[D];中国地质大学(北京);2012年
10 王守琰;金属材料自然环境腐蚀的图像识别[D];天津大学;2003年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陈国强;准双曲面齿轮接触图像齿形轮廓和接触斑点的二维重构[D];河南理工大学;2010年
2 蒲锰;非侵入式矿井提升机PLC电控系统实时故障诊断方法的研究[D];山东科技大学;2010年
3 张亚军;有限状态设备的移动监视与识别方法的研究[D];浙江理工大学;2010年
4 姚慧娟;光视觉球形目标识别技术的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
5 仇晨光;动态场景中的运动目标检测与跟踪技术[D];哈尔滨工程大学;2010年
6 黄宇;嵌入式多模态生物特征识别系统设计[D];哈尔滨工程大学;2010年
7 叶铂;基于统计学方法的水面目标特征提取与识别方法的研究[D];哈尔滨工程大学;2010年
8 张鹏宇;沥青路面裂纹检测技术的研究[D];长沙理工大学;2010年
9 王冰;凝汽器铜管的视觉定位方法研究[D];长沙理工大学;2009年
10 饶裕平;基于视频的森林火灾识别方法研究[D];浙江农林大学;2010年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 詹娟,刘光廷,孔德平;硅/硅直接键合(SDB)平面型高反压大功率晶体管研究[J];半导体技术;1990年05期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;压力仪表知识(三)[J];工业仪表与自动化装置;1977年01期
2 焦庆斌;李文秀;;CY5系列压阻式压力传感器[J];遥测遥控;1988年04期
3 ;传感器[J];电子科技文摘;2000年07期
4 李永科,田庆民,董海瑞;压阻式压力传感器输出特性的补偿[J];传感器技术;2004年06期
5 ;PT-6横向压阻式压力传感器首次研制成功[J];复旦学报(自然科学版);1986年03期
6 郭明威;朱家海;;压阻式压力传感器温度误差的数字补偿技术[J];仪表技术与传感器;2008年05期
7 张尔利;刘学军;刘存香;罗杰斌;;基于虚拟仪器的压阻式压力传感器校准系统的设计开发[J];制造业自动化;2009年07期
8 紫外;一种新型压力传感器[J];仪表技术与传感器;1991年05期
9 林友德;孙伯铭;朱超英;;传感器技术讲座[J];仪表技术与传感器;1984年06期
10 Hans-Joachim Moeller;Huanyu Gu;;TPMS压力传感器信号调节解决方案[J];电子设计应用;2006年08期
中国重要会议论文全文数据库 前4条
1 孙立宁;谢晖;荣伟彬;陈立国;;显微图像识别在硅传感器自动键合中的应用[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
2 李晶晶;岳瑞峰;刘理天;;电阻发热引起的压阻式压力传感器零点失调研究[A];第一届全国纳米技术与应用学术会议论文集[C];2000年
3 苗欣;陈伟平;;传感器芯片密封工艺研究[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
4 戴学斐;;高压传感器的便携式校准系统[A];2001全国压力计量测试技术年会论文集[C];2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前2条
1 夏勇;压阻式压力传感器温度补偿的研究与实现[D];西北工业大学;2006年
2 覃博彬;基于DSP的压力检测仪的设计[D];大连理工大学;2009年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026