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《中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集》2004年
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传感器芯片腐蚀深度测试仪的研制

匡石  刘沁  张纯棣  李民  
【摘要】:扩散硅传感器芯片腐蚀深度测试仪采用接触法测量。是采用动态闭环计算机控制方法。测量范围360°任意位置,测量准确度±2μm。能准确控制接触压力,保证了低量程的传感器芯片在测量过程中不被损坏。

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