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《中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集》2004年
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电容微加速度计结构参数优化设计

黄书琴  郝永平  王世军  
【摘要】:针对提高电容傲加速度计的灵敏度,本文首先建立了微加速度计结构模型,讨论了梁的长度、宽度、结构厚度参数变化影响微加速度计固有频率。计算结果表明,对微加速度计的结构参数进行优化设计,可以最大限度地提高传感器的性能。

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【参考文献】
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