收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器

孟丽娜  邱成军  左霞  
【摘要】:采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有三维立体结构的酞菁锌(ZnPc)薄膜型气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。研究表明:与传统的气体传感器相比,此种传感器具有灵敏度高、响应快、低功耗的特点。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 朱真乐;;碳纳米管气体传感器综述[J];科技信息;2011年22期
2 薛严冰;唐祯安;;基于陶瓷微热板的高温气体传感器研究[J];光电子.激光;2011年07期
3 张飞;孙旭;张仕玲;;基于MSP430F149单片机的煤气泄露监测与报警系统的设计[J];中国集成电路;2011年08期
4 朱斌;殷晨波;陶春旻;张子立;;气体传感器叉指电极结构设计及电极间分布电阻计算[J];仪表技术与传感器;2011年08期
5 侯成诚;闫学锋;汪幸;周文;李冬梅;刘明;陈军宁;;一种便携SAW气体传感器的电路设计[J];压电与声光;2011年04期
6 李兴辉;Selvarasah Selvapraba;LIU Yu;Mohebbi Marjan;Dokmeci Mehmet R;;柔性高灵敏单壁碳纳米管气体传感器研究[J];传感器与微系统;2011年07期
7 于淼;佟彤;;家用燃气泄漏报警控制器[J];科技创新导报;2011年16期
8 楠;;空间传感器应用于制造“更绿色”的玻璃[J];军民两用技术与产品;2011年07期
9 徐海滨;孙冬梅;程明霄;;基于微流量气体传感器的数据采集系统[J];仪表技术与传感器;2011年07期
10 王春媚;;石油化工行业危险源监控系统设计[J];科技信息;2011年19期
11 朱飞亚;王焱;王亚亚;;基于nRF24L01的移动式无线环境监测系统[J];信息与电脑(理论版);2011年08期
12 赵兴海;鲍景富;杜亦佳;高杨;郑英彬;;MEMS技术在THz无源器件中的应用[J];传感器与微系统;2011年07期
13 邓超;许丽娟;;基于IEEE1451_5标准的家居环境废气监测系统设计与研究[J];制造业自动化;2011年16期
14 陈勇华;;微机电系统的研究与展望[J];电子机械工程;2011年03期
15 乔晓娇;吴哲夫;刘庆;;OPM技术在矿井气体监控系统中的应用[J];杭州电子科技大学学报;2011年04期
16 许光华;;基于RS-485总线的有害气体监测平台硬件的设计[J];电脑知识与技术;2011年17期
17 刘广;闫磊;钱桦;肖爱平;吴健;梁伟;;林地环境监测机器人底盘结构与控制系统设计[J];广东农业科学;2011年17期
18 吴晓方;张志刚;;基于多传感器数据融合的火灾报警系统设计[J];齐齐哈尔大学学报(自然科学版);2011年05期
19 宋剑;潘迪夫;张秧聪;肖友刚;谢亚周;;嵌入式温湿度及有害气体网络监测系统研究[J];企业技术开发;2011年15期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 孟丽娜;邱成军;左霞;;硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
2 许淑霞;吕弋;;纳米硒化银催化发光气体传感器[A];第十届中国化学会分析化学年会暨第十届全国原子光谱学术会议论文摘要集[C];2009年
3 王兢;刘丽;纪敏;;La_(0.8)Sr_(0.2)FeO_3甲醛气体传感器研究[A];第六届全国信息获取与处理学术会议论文集(2)[C];2008年
4 于博;戚金清;王兢;;基于MSP430的无线气体传感器采集系统[A];第八届全国信息获取与处理学术会议论文集[C];2010年
5 丁晖;刘君华;申忠如;;在线小波变换技术在气体传感器漂移故障检测中的应用[A];第三次全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2002年
6 谢晓;王文;刘明华;何世堂;;用于气体传感器的声表面波谐振器型振荡器性能的实验分析[A];泛在信息社会中的声学——中国声学学会2010年全国会员代表大会暨学术会议论文集[C];2010年
7 刘萍云;张长瑞;冯坚;马占东;;LBL分子沉积法制备神经毒剂类传感器薄膜[A];中国化学会第二十五届学术年会论文摘要集(上册)[C];2006年
8 陈传治;左伯莉;马晋毅;江洪敏;;谐振器型声表面波气体传感器检测芥子气的研究[A];第三届全国压电和声波理论及器件技术研讨会论文集[C];2008年
9 孙蕾;唐祯安;余隽;卢好正;焦培胜;;声表面波气体传感器无线测试系统的研究[A];中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集[C];2004年
10 曹廷炳;薛面起;;无溶液聚合法制备聚噻吩膜及其在气体传感器方面的应用[A];2007年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(上册)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 钟铁钢;系列毒害气体传感器的研制及其特性研究[D];吉林大学;2010年
2 李淑红;基于声表面波技术的新型气体传感器的研究[D];南开大学;2010年
3 孙鉴波;紫外光激发型半导体氧化物气体传感器的研究[D];吉林大学;2012年
4 刘丽;硅基微结构气体传感器的研制[D];吉林大学;2008年
5 宋凯;金属氧化物半导体气体传感器气体检测关键问题研究[D];哈尔滨工业大学;2011年
6 孙萍;质量敏感型有毒有害气体传感器及阵列研究[D];电子科技大学;2010年
7 刘凤敏;SnO_2及其复合氧化物气体传感器的修饰改性研究[D];吉林大学;2005年
8 颜丙勇;碳纳米管电离式气体传感器的基础研究[D];上海交通大学;2006年
9 刘艳丽;低维半导体氧化物的合成及气体传感器的研制[D];湖南大学;2005年
10 张乐欣;多孔硅光子晶体的气体传感技术的研究[D];燕山大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 杨亚娣;金属颗粒膜/多孔硅气体传感器的研究[D];昆明理工大学;2010年
2 邵晶;半固态和全固态控制电位电解型SO_2气体传感器的研究[D];甘肃工业大学;2001年
3 刘博;硅基微结构SnO_2气体传感器结构改进研究[D];大连理工大学;2010年
4 王玮;基于气体传感器阵列的混合气体检测系统[D];西北工业大学;2002年
5 罗静;气致变色气体传感器气敏薄膜阵列的制备与研究[D];电子科技大学;2011年
6 李艳;基于离子液体/碳粉电导型气体传感器[D];上海师范大学;2010年
7 贾建;气体传感器智能测试系统和便携式酒精检测仪的研究[D];中国科学院研究生院(电子学研究所);2003年
8 吕坚;基于虚拟仪器的气体传感器自动测试系统研究[D];电子科技大学;2004年
9 谭明伟;γ-Fe_2O_3气体传感器敏感机理与应用研究[D];吉林大学;2005年
10 张振平;无线传感器网络气体检测节点的研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前6条
1 于柏林张兆军;气体传感器技术研究获突破[N];科技日报;2007年
2 山西 王东升;低价位氧气传感器[N];电子报;2007年
3 柏林;我掌握电化学气体传感器核心技术[N];中国化工报;2007年
4 张梦然;美研发微型有毒气体探测传感器[N];科技日报;2008年
5 北京航空航天大学 阎小涛;基于双机通讯的远程报警系统[N];电子报;2005年
6 记者 秦德岐;电子鼻可代替警犬搜查毒品[N];新华每日电讯;2000年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978