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《中国传感器产业发展论坛暨东北MEMS研发联合体研讨会论文集》2004年
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硅基微结构酞菁锌薄膜气体传感器

孟丽娜  邱成军  左霞  
【摘要】:采用微加工技术研制了一种以硅为基底材料,具有三维立体结构的酞菁锌(ZnPc)薄膜型气体传感器。阐述了该传感器的工作原理、结构设计、工艺流程以及特性分析。研究表明:与传统的气体传感器相比,此种传感器具有灵敏度高、响应快、低功耗的特点。

【参考文献】
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【共引文献】
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【二级参考文献】
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