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《中国自动化学会控制理论专业委员会D卷》2011年
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A Survey of Run-to-Run Control Algorithms for High-mix Semiconductor Manufacturing Processes

【摘要】:正The modeling and control of high-mix production system in semiconductor manufacturing impose great challenge for process engineers.Many different methods have been proposed to improve control performance of the high-mix system.In this paper,an overview of the recent control algorithms for high-mix system is presented.The thread-based methods and the non-threaded state estimation methods which are studied and practiced widely in semiconductor manufacturing are discussed in detail.Further research directions for the run-to-run control of mixed product system are pointed out based on the extensive study of current literatures.

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【共引文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
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