收藏本站
《中国自动化学会控制理论专业委员会C卷》2011年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

Variable EWMA Controller for High Mixed Semiconductor Manufacturing Processes

WONG David Shan-Hill  
【摘要】:正In high mixed semiconductor processes,the group and product Exponentially Weighted Moving Average(GP EWMA) controller is a popular model based on run-to-run controller.Otherwise,how to select optimum weights is the key issue in the GP EWMA control.In this paper,an auto-tuning scheme for GP EWMA controller is proposed to improve the control performance.Optimum weights of GP EWMA controller for next run are found using iterative algorithm which based on a set of previous run data.Then,the dataset is updated by a moving window approach.The auto-tuning of GP EWMA controller can ensure that every run is under the best operation.The validation of the proposed method is demonstrated by an industrial application.

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 ;洛克威尔推出FAXENGINE调制解调器产品系列[J];今日电子;1995年08期
2 梁春燕,谢剑英,钟庆昌;抑制残留振荡的时滞滤波器灵敏性分析[J];信息与控制;2001年02期
3 纪宗南;微型、PWM升压控制器MAX668/MAX669[J];电子质量;2001年11期
4 金中;电子缩略新语卡(33)[J];电子产品世界;2002年Z2期
5 卫欣;用于USB2.0的LSI电路技术及其应用[J];今日电子;2002年02期
6 李川;Blackfin DSP与高速转换器接口在无线中的应用[J];电子质量;2003年01期
7 王时胜,黄伟栋,周颖;DSP在电力有源滤波器的应用研究[J];南昌大学学报(工科版);2003年01期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前9条
1 WONG David Shan-Hill;;Variable EWMA Controller for High Mixed Semiconductor Manufacturing Processes[A];中国自动化学会控制理论专业委员会C卷[C];2011年
2 郑英;侯明阳;;混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究[A];第二十七届中国控制会议论文集[C];2008年
3 ;A Survey of Run-to-Run Control Algorithms for High-mix Semiconductor Manufacturing Processes[A];中国自动化学会控制理论专业委员会D卷[C];2011年
4 ;On Neural Network Training Algorithm Based on the Unscented Kalman Filter[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
5 ;Cost Reference Particle Filter Based on Adaptive Particle Swarm Optimization in Observation Uncertainty[A];中国自动化学会控制理论专业委员会A卷[C];2011年
6 David Shan-Hill WONG;Shi-Shang JANG;;Run to Run Control Based on Adaptive Cluster Method for High-mix Semiconductor Manufacturing Processes[A];第二十九届中国控制会议论文集[C];2010年
7 ;Study on Hybrid Controller and PWM Driver of Peek Current Controlled Flyback Converter[A];中国自动化学会控制理论专业委员会D卷[C];2011年
8 钱伟康;梁利娟;王丽丽;;一种基于FPGA的CAN总线船舶监控系统[A];全国第三届信号和智能信息处理与应用学术交流会专刊[C];2009年
9 ;A Novel Unscented Kalman Filter in Autonomous Optical Navigation[A];第二十六届中国控制会议论文集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前2条
1 林卫国;LED参数测量及其质量控制的研究与应用[D];武汉理工大学;2012年
2 艾兵;采用指数加权平均控制器的半导体生产过程的稳定性与性能分析[D];华中科技大学;2012年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 龚自立;PPM水平下微电路工艺质量分析与评价关键技术研究[D];西安电子科技大学;2001年
2 陈军;应用于中小尺寸LCD Controller的物理实现与验证[D];华中科技大学;2004年
3 冯亚琼;有源电力滤波器的神经网络PI控制器设计[D];上海交通大学;2011年
4 杨楠;基于FPGA的预测控制器设计和应用[D];上海交通大学;2011年
5 唐磊;基于FPGA的USB、Flash控制器设计[D];北京交通大学;2010年
6 代洪光;基于ARCA3的音视频系统开发[D];哈尔滨工业大学;2011年
7 张伟峰;通用可配置生物电刺激芯片的设计[D];上海交通大学;2011年
8 黄霞;基于FPGA的智能温度控制系统的设计[D];武汉理工大学;2012年
9 沈峰;基于FPGA的模糊PID控制器设计[D];武汉科技大学;2012年
10 黄云翔;DDR3 SDRAM控制器的设计和验证[D];华南理工大学;2012年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026