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《第二十七届中国控制会议论文集》2008年
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混合产品制程中基于变权值EWMA的批间控制方法研究

郑英  侯明阳  
【摘要】:批间(Run-to-Run,R2R)控制已广泛应用于半导体生产行业。指数加权移动平均(Exponent Weighted Moving Average,EWMA)反馈控制是R2R控制的一种重要算法。折扣因子(Discount Factor)是EWMA控制器的主要参数。一般的半导体生产过程研究都是针对单一产品,然而在实际生产中同一生产线往往生产不同的产品。本文以实际生产过程中混合产品少量多样的特点作为模型,应用基于产品(Product-based)的控制方法进行分析,同时引入变折扣因子的EWMA控制算法,并通过对实际过程的模拟来检验这个算法的可行性。
【作者单位】:华中科技大学控制科学与工程系
【基金】:国家自然科学基金资助,项目批准号:60604030
【分类号】:TP13;TN305

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