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《第二十七届中国控制会议论文集》2008年
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参数化的MEMS器件可视化建模方法-虚拟组装

王磊  赵新  卢桂章  
【摘要】:在MEMS设计领域,器件的建模和仿真始终是研究的热点,同时也是MEMS设计过程中至关重要的环节。因为MEMS器件的三维结构属性以及机械运动特性,本文提出了参数化的MEMS器件可视化建模方法和工具——虚拟组装。虚拟组装不仅包含了MEMS器件三维拓扑模型的构建和组装过程,而且针对MEMS的机械运动特性,包含了部件动态模型的组装。虚拟组装以部件库为基础,通过将参数化的部件进行三维拓扑结构和动态模型的组装,可以生成MEMS器件的逻辑模型。同时结合通用的MEMS器件可视化行为级仿真工具——虚拟运行,最终实现MEMS器件的可视化建模和仿真系统。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 卢桂章,赵新;基于部件库的MEMS设计方法[J];微纳电子技术;2003年Z1期
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中国重要会议论文全文数据库 前3条
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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【二级参考文献】
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3 谢少荣,彭商贤,赵新,卢桂章;虚拟环境中微加速度传感器建模及拟实运行[J];自动化学报;2001年05期
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10 孙发威;扭臂式MEMS光开关的建模与优化[D];西安电子科技大学;2010年
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