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《1998年中国控制会议论文集》1998年
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激光制备纳米级氮化硅粉末工程的综合控制

陈荣保  张崇巍  张晓江  董学平  
【摘要】:正一、引言在大功率激光束的持续激发下,硅烷(SiH4)与氨(NH3)可在无氧的环境中合成纳米级氮化硅粉末,这种物质是面向未来的新型材料,可称为二十一世纪材料的“味精”。在剧烈的合成过程中控制整个装置上各主要设备(阀门等)的启闭、控制原料的配比及合成室的压力、温度、流量等参数,对获得高品质的产品一氮化硅极为重要;在连续生产过程中,整

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