收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

硅碳氧薄膜光学性能研究

李晨  陈焘  王多书  张平  
【摘要】:硅碳氧(SiCO)薄膜是一种三元玻璃状化合物材料,具有热稳定性好、能带宽、折射率大、硬度高等特性,是一种具有潜在应用价值的新颖光学薄膜材料。本文采用射频磁控溅射技术在Si(100)及K9玻璃上制备了硅碳氧薄膜。利用椭圆偏振仪、紫外/可见/近红外光度计及X射线光电子能谱测试表征了薄膜的光学性能及薄膜组分。研究发现,基片温度、工作压强及溅射功率等工艺参数对硅碳氧薄膜的沉积速率和折射率都有着一定的影响。并且所制备的硅碳氧薄膜均具有高折射率(大于1.80),相比之下,K9玻璃基硅碳氧薄膜的折射率有着更大的变化范围(1.84~2.20)。通过对K9玻璃基硅碳氧薄膜的光学透射性能研究表明,采用文中所描述的方法可以制备出具有较好光学透射性能的硅碳氧薄膜。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 张欢欢;李智;苗春雨;马春雨;张庆瑜;;射频磁控溅射制备Mn掺杂ZnO薄膜的结构与光学性能[J];功能材料;2011年S3期
2 郭红力;刘果;李雪冬;肖定全;朱建国;;两步法快速退火对PMN-PT薄膜结构和性能的影响[J];功能材料;2011年08期
3 程华;王萍;崔岩;吴爱民;石南林;;基片温度对微晶硅薄膜微观结构和光学性能的影响[J];材料研究学报;2011年04期
4 成照宇;刘向东;;颗粒锡膜形貌与氧压及基片温度的相关性[J];材料导报;2011年12期
5 谢大兵;华文深;黄红军;王运波;吴先权;;化学溶液沉积法制备红外上转换薄膜工艺的改进[J];光学仪器;2010年02期
6 王元;蒋书文;陈湘亮;;Al_2O_3陶瓷基片上Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3薄膜可调介电性能的研究[J];功能材料;2011年S2期
7 马晓敏;赵占霞;宋晨辰;赵磊;马忠权;;太阳电池窗口层材料Sc掺杂ZnO薄膜的抗腐蚀性研究[J];人工晶体学报;2011年04期
8 谢平;李斌;刘定权;张素英;;电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究[J];光学仪器;2010年06期
9 邬小鹏;傅竹西;;MgZnO薄膜的制备及其光电特性[J];功能材料;2011年09期
10 于新彪;邓冬梅;白丽华;曹世勋;张金仓;;Ag/Si(111)超薄膜光学二次谐波强度变化与结构相变研究[J];低温物理学报;2011年04期
11 ;[J];;年期
12 ;[J];;年期
13 ;[J];;年期
14 ;[J];;年期
15 ;[J];;年期
16 ;[J];;年期
17 ;[J];;年期
18 ;[J];;年期
19 ;[J];;年期
20 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 李晨;陈焘;王多书;张平;;硅碳氧薄膜光学性能研究[A];第三届空间材料及其应用技术学术交流会论文集[C];2011年
2 邱万奇;蔡明;钟喜春;余红雅;刘仲武;曾德长;;电弧离子镀AIN薄膜的光致发光性能的研究[A];低碳技术与材料产业发展研讨会论文集[C];2010年
3 徐立海;杨炜;王聪;;射频磁控溅射技术制备IT-SOFC GDC电解质膜的研究[A];第十二届中国固态离子学学术会议论文集稀土专辑[C];2004年
4 虞晓江;田家万;邵楠;李戈扬;;基片温度对TiB_2薄膜生长形貌及力学性能的影响[A];第十二届全国电子显微学会议论文集[C];2002年
5 葛水兵;程珊华;宁兆元;沈明荣;甘肇强;;基片温度对电子束蒸发沉积的ZnO:Al膜性能的影响[A];第三届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1998年
6 李芳;林永昌;刘育梁;;新型减反膜的设计与制备[A];2004年光学仪器研讨会论文集[C];2004年
7 朱建国;肖定全;朱居木;钱正洪;张文;;用RF溅射法在不同基片上制备Pt薄膜[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
8 任雪勇;谢泉;杨吟野;肖清泉;杨创华;曾武贤;梁艳;;溅射功率对Ca_2Si薄膜性质的影响[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
9 亢原彬;吴景波;邓湘云;李德军;;工作气压对ZrB_2/W纳米多层薄膜结构和机械性能的影响[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
10 莫尚军;张继华;;应用于DRAM的高性能钛酸锶钡薄膜的制备研究[A];2010’全国半导体器件技术研讨会论文集[C];2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张向超;掺杂TiO_2薄膜的制备、表征及性能[D];中南大学;2010年
2 孙利杰;ZnO薄膜的掺杂和光电性质研究[D];中国科学技术大学;2010年
3 熊飞;钙钛矿型氧化物薄膜的激光感生热电电压效应及光探测器应用[D];昆明理工大学;2008年
4 张以忱;中频非平衡磁控溅射制备硬质复合薄膜的研究[D];东北大学;2008年
5 董东;多孔二氧化硅薄膜的构建及性能研究[D];电子科技大学;2011年
6 鲁林峰;太阳电池用ZnO:Al和β-FeSi_2薄膜材料的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
7 李红凯;碳基纳米复合薄膜及应用研究[D];大连理工大学;2010年
8 黄六一;FeS_2及FeS_2/TiO_2复合薄膜的制备与光电性能研究[D];浙江大学;2011年
9 刘东光;纳米结构碳氮基薄膜的设计与机械性能[D];浙江大学;2011年
10 王玉新;硼碳氮薄膜的制备及其光透过性质研究[D];长春理工大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 安晓晖;稀土掺杂CdS薄膜的制备及性能研究[D];内蒙古大学;2011年
2 徐浩;掺杂ZnO薄膜的生长及其储锂性能研究[D];复旦大学;2011年
3 韦晓莹;基于VO_X薄膜的电致阻变特性的研究[D];天津理工大学;2011年
4 齐慧;硫化铜粉体和薄膜的制备工艺及性能研究[D];陕西科技大学;2012年
5 刘亚妮;太阳电池用μc-SiGe/poly-SiGe/ZnO薄膜的制备与性能研究[D];南京航空航天大学;2011年
6 孙金磊;La_(1-x)Sr_xMnO_3薄膜抗腐蚀性能研究[D];山东大学;2010年
7 王芳平;甩胶喷雾热分解方法制备BaTiO_3薄膜及其介电性能研究[D];北京化工大学;2010年
8 张惠;磁控溅射法制备柔性ZnO:Al薄膜及其光电性能研究[D];南京航空航天大学;2010年
9 惠秀梅;二硫化钨(WS_2)薄膜的制备及其摩擦学性能[D];东北大学;2008年
10 邵林飞;掺杂VO_x薄膜制备及其性能研究[D];合肥工业大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前3条
1 吴琼;谈谈陶瓷湿度传感器及其发展动向[N];北京电子报;2001年
2 智超;纳米碳管式场发射显示器问世[N];电子资讯时报;2002年
3 方方;凹印塑料薄膜质量标准与质量控制[N];中国包装报;2011年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978