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《第三届空间材料及其应用技术学术交流会论文集》2011年
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电弧离子镀低温沉积和绕镀性研究

胡昌吉  王俊  何振辉  
【摘要】:本文采用电弧离子镀技术,在聚酰亚胺衬底上沉积ZnO薄膜。利用X射线衍射(XRD)研究ZnO薄膜的微结构;采用薄膜热电偶测量沉积过程中衬底的表面温度。结果表明电弧离子镀是一种低温沉积技术,沉积过程中的衬底表面温度低于100℃。尽管沉积温度较低,仍能得到结晶性能很好的ZnO薄膜。绕镀性试验通过在不同凸面和凹面的聚合物衬底上沉积薄膜的厚度分布进行表征。结果表明,电弧离子镀具有较好的绕镀性,特别适合在表面凹凸不平的样品上镀膜。紫外老化试验结果表明ZnO薄膜具有抗紫外性能,本文的紫外辐射条件对薄膜的附着性能影响很小。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 谢致薇,蒙继龙,王国庆;物理气相沉积薄膜的界面与附着力[J];真空科学与技术;2001年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 骆芳;陈智君;董世运;;激光工艺参数对纳米SiO_2复合镀层组织性能的影响[J];中国表面工程;2008年03期
2 肖平;杨大祥;赵晓峰;Ian Shapiro;Eddie Lopez Honorato;宋永才;;新型化学反应法制备SiC/Al_2O_3复相陶瓷涂层[J];中国表面工程;2009年06期
3 袁庆龙;曹晶晶;苏志俊;;烧结型NdFeB永磁体的防腐蚀研究进展[J];表面技术;2009年01期
4 李国彬;高明亮;宋志国;王铁宝;;纳米SiO_2/Ni基复合镀层的研究现状与展望[J];材料保护;2008年08期
5 杨晓光;鲁晓宇;;静电悬浮条件下材料的研究进展[J];材料导报;2008年S2期
6 董洪亮;李国军;崔学军;;高性能陶瓷涂层的制备技术与发展趋势[J];材料导报;2008年S2期
7 高春森;邓跃全;董发勤;杨瑞;解忠雷;许春凤;;可钢化TiO_2-Si_3N_4-CrN_x-Ag-NiCrO_x-ZnO-Si_3N_4玻璃涂层的制备和性能表征[J];材料导报;2010年S1期
8 汪建华;谭敦强;;铜合金化学镀Ni-P镀层的结构及性能研究[J];世界有色金属;2008年12期
9 牛丽萍;张廷安;赫冀成;豆志河;;等离子喷涂薄壁工件涂层中温度场解析[J];东北大学学报(自然科学版);2010年04期
10 滕林,杨邦朝,崔红玲,杜晓松;金属薄膜附着性的改进[J];电子元件与材料;2003年06期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 张厚亮;吕学超;任大鹏;李嵘;赖新春;杨兴文;;U薄膜分析样制备技术研究[A];第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(下册)[C];2008年
2 朴钟宇;徐滨士;王海斗;程莉;;热喷涂金属陶瓷涂层的接触疲劳失效机理分析[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集(二)[C];2008年
3 张厚亮;吕学超;任大鹏;李嵘;赖新春;杨兴文;;U薄膜分析样制备技术研究[A];第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(2)[C];2008年
4 孙喜莲;徐学科;邵建达;;铬过渡层对银膜的微结构、光学性质及附着力的影响[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
5 张其梅;王家俊;;真空镀二氧化钛聚乙烯塑料包装薄膜[A];第十一届全国包装工程学术会议论文集(一)[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 戚栋;电弧离子镀的等离子体负载特性与脉冲偏压电源研究[D];大连理工大学;2005年
2 乔志军;纳米金刚石石墨化转变以及纳米金刚石/铜复合材料的制备与性能[D];天津大学;2007年
3 孙景刚;间歇交变磁场对等离子堆焊金属组织及性能影响机理的研究[D];沈阳工业大学;2009年
4 刘冠鹏;镁(铝)金属粉的改性及其在金属/水反应推进剂中的应用研究[D];南京理工大学;2008年
5 王乐妍;激光光致热塑成型效应及三维微结构制备新方法研究[D];浙江大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 曹晶晶;烧结NdFeB永磁材料化学镀Ni-Co-P合金防护层研究[D];河南理工大学;2010年
2 尤莲;稀土对Ni-P化学镀工艺及镀层性能影响的研究[D];武汉理工大学;2010年
3 顾建强;激光熔覆残余应力场的数值模拟[D];浙江工业大学;2010年
4 杨东雷;带有柔性过渡层的Ni/Al尖晶石惰性阳极涂层研究[D];哈尔滨工业大学;2010年
5 李倩倩;磁控溅射制备MoS_2基复合薄膜的结构与性能研究[D];上海交通大学;2011年
6 张西鹏;锆合金基体上直流磁控溅射铬膜组织与性能研究[D];四川大学;2003年
7 赵军;提高热锻模寿命的研究[D];重庆大学;2004年
8 黄磊;偏压电子束蒸发沉积氧化物光学薄膜研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
9 吴华;Zr-4合金表面Nb合金化研究[D];四川大学;2006年
10 高建昌;钢基表面磁控溅射法C/SiC双层薄膜制备研究[D];江苏大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 赵文兵,吴军桥,陈军,吴克,张金龙,李传义,尹道乐,顾镇南,周锡煌,金朝霞;研究C_(60)-金属相互作用的一种新方法[J];北京大学学报(自然科学版);1996年01期
2 廖钟亮;等离子镀TiN膜前处理工艺[J];表面技术;1994年06期
3 金恒毅,于志明,金柱京;不同底层TiN离子镀复合涂层的研究[J];表面技术;1995年01期
4 姜银方;关于基片性质对离子镀膜影响的分析[J];表面技术;1996年06期
5 郑斌,朱永法,姚文清,王鹤泉,曹立礼,胡为民;金刚石薄膜的表面金属化及与Ti薄膜的界面扩散反应的AES研究[J];材料工程;1998年08期
6 陶琨,何向军,江海,范玉殿,李恒德;IBAD薄膜与基体界面的显微结构[J];材料研究学报;1996年02期
7 谢致薇,郑健红,袁镇海,邓其森,罗广南,戴达煌,付志强;真空阴极电弧沉积法沉积类金刚石膜在扬声器振膜上应用的研究[J];广东有色金属学报;1998年01期
8 王玉魁,韩会民,高路斯,王传思,刘云月;基片负偏压对PEMSIP法高速钢基体TiN涂层结合力的影响[J];机械工程材料;1995年02期
9 王亮,许晓磊,许彬,黑祖昆;离子氮碳共渗与离子镀TiN复合处理研究[J];金属热处理学报;1999年03期
10 谢致薇,李瑜煜,林松盛,陈海燕,谢光荣,黄小平;多弧离子沉积(TiFeCr)N多元膜[J];金属热处理;1998年09期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 董小虹;黎炳雄;梁航;;俄罗斯电弧离子镀技术的特点及其在刀具涂层上的应用[J];航空制造技术;2009年13期
2 任屏源;任妮;马占吉;肖更竭;武生虎;;C/E表面镀Al膜的原子氧试验[J];宇航材料工艺;2007年04期
3 初文毅,杨士勤,杨德庄,何世禹,李丹明;模拟空间原子氧对Teflon FEP/Al薄膜性能的影响[J];材料研究学报;2005年03期
4 卢榆孙,李华,韩小文;航天器表面充电状态被动控制用的导电膜[J];中国空间科学技术;1989年04期
5 赵涛;董德平;翁建茂;徐红艳;;分子筛在真空低温下水汽吸附脱附性实验研究[J];低温与超导;2007年02期
6 彭新;侯会文;林栋;刘建平;;MCrAlY+AlSiY复合涂层在航空发动机上的应用[J];航空发动机;2009年01期
7 初文毅;杨士勤;何世禹;李丹明;;原子氧对Kapton/Al薄膜性能影响研究[J];航空材料学报;2006年01期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 胡昌吉;王俊;何振辉;;电弧离子镀低温沉积和绕镀性研究[A];第三届空间材料及其应用技术学术交流会论文集[C];2011年
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