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《江苏省真空学会第十一届学术交流会论文集》2007年
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氮化铝纳米锥的制备及其场发射性能研究

吴强  刘淳  王喜章  胡征  
【摘要】:通过无水AlCl3和NH3的高温气相反应,在硅片上沉积得到了AlN纳米锥阵列,采用电子显微镜等多种方法对产物的形貌、结构进行了表征,研究了产物的场电子发射性能,获得了性能良好的新型场发射材料。

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