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《第四届华东真空科技学术交流展示会学术论文集》2003年
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超高真空系统的质谱计导向式检漏技术

毛福明  任家生  朱雷  庄寿全  
【摘要】:应用四极质计对超高真空系统进行气体分析和诊断,把检漏工作变为有指导目标地进行,可以极大地减轻系统的调试工作量,。文章还分析和比较了四极质谱计和普通氦质谱检漏仪的检漏灵敏度,具体比较了液体涂擦检漏法的灵敏度。最后强调了超高真空系统管道和阀门等元器件必须经受烘烤检验的必要性。

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