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离子束增强沉积法和溶胶-凝胶法制备的钨掺杂VO_2薄膜的性能比较

付学成  李金华  谢太斌  谢建生  
【摘要】:正氧化钒薄膜是一种重要的红外敏感膜,在红外探测与室温红外成像等领域有十分广泛的应用。利用掺杂的方法可以改变VO_2多晶薄膜的相变温度和电阻-温度系数(TCR),从而提高红外探测器的性能。用离子束增强沉积(IBED)和溶胶—凝胶(Sol-Gel)两种方法制备了VO_2薄膜,

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