收藏本站
《第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集》2008年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究

龚勇清  刘智怀  高益庆  罗宁宁  李平贵  
【摘要】:本文提出一种二元光学元件微型芯模的工艺设计方法,利用了数字调制器件(DMD芯片)的空间光调制特性。首先通过编程设计出二元光学器件的相关软件,以实现菲涅耳透镜、龙基光栅等各种矢量图形,经过14倍精缩光学系统,将由DMD芯片生成的二元光学器件图像成像在涂有光刻胶的基板上。这种基板材料是利用高温镍合金制造,通过高速匀胶机在其表面形成1μm的光刻胶图层,将其移入主波长为365nm的紫外光刻机成阵列式曝光,经显影、定影和坚膜后,再利用电化学蚀刻,得到一种二元光学阵列的微芯模。
【作者单位】:南昌航空大学自动化学院
【分类号】:TN405

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 赵继锋;光学塑料注射模具的设计制作与制品的成型工艺[J];工程塑料应用;1999年01期
2 陈劲松;;数字微镜工作原理与应用[J];电子技术;2006年06期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 付伟;;拉板机构在注塑模具螺纹抽芯中的应用[J];工程塑料应用;2006年03期
2 付伟;;拉板机构在超高注塑件定模顶出中的应用[J];工程塑料应用;2006年09期
3 付伟;范士娟;张海;;注塑模具设计中浇口位置和结构形式的选用[J];工程塑料应用;2007年10期
4 付伟;张海;;“斜顶式”滑块机构在模具中的应用[J];工程塑料应用;2008年01期
5 许丽华;林涛;付伟;;“扣机式”二次顶出机构在模具中的应用[J];工程塑料应用;2008年03期
6 付伟;魏保立;;注塑模具的排位设计[J];工程塑料应用;2008年04期
7 赵龙志;赵明娟;李娜;张尚兵;宋金良;;CAD/CAE在安全带护盖支架注塑模设计中的应用[J];工程塑料应用;2009年02期
8 朱华泽;;塑料油管注塑模具设计[J];工程塑料应用;2011年03期
9 李谟树;;基于活动型芯的双色铲基注塑模设计[J];工程塑料应用;2011年04期
10 李谟树;;带侧向抽芯与内置哈夫式滑块结构的注射模设计[J];工程塑料应用;2011年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 邓履璧;;量子物理光学[A];第十五届全国量子光学学术报告会报告摘要集[C];2012年
2 梁旭;徐敏;王军华;李锦江;李旭峰;;折-衍光学镜片的单点金刚石车削与检测[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 胡伟;王人成;;基于提高靶材利用率的磁场与靶材刻蚀仿真研究现状[A];2010中国·重庆第七届表面工程技术学术论坛暨展览会论文集[C];2010年
4 李卫森;;衍射光学元件在激光雷达光学系统中的应用[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
5 许筱玲;唐洁影;;微加工硅悬臂梁在振动环境下的可靠性分析[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
6 吴嘉丽;李仁锋;谭刚;李红;;LPCVD多晶硅薄膜制备技术[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
7 梁玲;张良;;折/衍混合红外光学系统无热设计[A];2007年光电探测与制导技术的发展与应用研讨会论文集[C];2007年
8 李斌;魏明月;张新宇;谢长生;张天序;;硅各向异性腐蚀掩膜版的高效率高精度设计[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
9 魏明月;李斌;张新宇;谢长生;张天序;;红光高清存储衍射物镜的设计与制作[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
10 王猛;柳波;张新宇;谢长生;张天序;;红光高清光存储光学头衍射物镜的研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(下册)[C];2009年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 饶丰;基于个性化眼模型的人工晶体设计及其特性研究[D];南开大学;2010年
2 张梅;基于个性化眼光学结构的人眼色差的研究[D];南开大学;2010年
3 牛爽;全景环带凝视成像光学系统的研究与应用[D];浙江大学;2010年
4 郑建洲;高功率激光靶面均匀辐照技术的研究[D];大连理工大学;2011年
5 刘勇;高灵敏微悬臂梁探针设计制作及特性研究[D];中国科学技术大学;2011年
6 王涛;基于液晶空间光调制器的彩色全息显示研究[D];上海大学;2011年
7 刘长海;全息模式波前传感技术研究[D];国防科学技术大学;2011年
8 周哲海;轴对称偏振光束的生成、特性及应用[D];清华大学;2010年
9 李珂;用于光束整形与超分辨成像的衍射光学元件的设计和实验[D];中国科学技术大学;2011年
10 刘春雨;非球面补偿检测的准确度研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 何帅;动态渐变灰阶数字掩模技术制作微透镜的研究[D];南昌航空大学;2010年
2 饶玉芳;无掩模光刻系统的研究与设计[D];南昌航空大学;2010年
3 黄长辉;金属材料断口三维形貌检测与表征分析[D];南昌航空大学;2010年
4 庞中华;微流控芯片注塑成型工艺规范的试验研究与质量预测[D];大连理工大学;2010年
5 韩宏颖;体积衍射光学元件的标量衍射数组分析[D];辽宁师范大学;2010年
6 范娅玲;闪存低温失效分析及不良筛选[D];苏州大学;2010年
7 许艺;大功率晶体管背面金属化的研究与优化设计[D];电子科技大学;2010年
8 于祝鹏;穿通结构三极管BV_(CEO)仿真分析及一致性提高研究[D];电子科技大学;2010年
9 刘波;基于L-Edit设计及MINITAB、JMP分析的晶体管(NPN型)大电流特性提升[D];电子科技大学;2010年
10 周金廷;基于Minitab磷扩结深一致性和均匀性数据分析及优化[D];电子科技大学;2010年
【二级参考文献】
中国博士学位论文全文数据库 前1条
1 唐雄贵;厚胶光学光刻技术研究[D];四川大学;2006年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 李琦,高惠德,董蕴华,申作春,王骐;整形二元光学元件衍射效率的研究[J];激光技术;2000年01期
2 李红军,赵晶丽,卢振武,廖江红,翁志成;二元光学元件制作过程中的线宽误差[J];光电子.激光;2000年03期
3 Modern Xu,Lucian Liu;光刻技术与光刻机[J];中国集成电路;2004年08期
4 张羽,杨坤涛,杨长城;二元光学元件的制作技术与进展[J];光学仪器;2005年02期
5 本刊编辑部;;193nm浸没式光刻技术发展现状及今后难点[J];电子工业专用设备;2006年04期
6 孙再吉;松下电器公司开发分辨率为0.25μm的光刻技术[J];固体电子学研究与进展;1993年01期
7 冯伯儒,张锦,侯德胜,陈芬;微光刻技术的发展[J];微细加工技术;2000年01期
8 徐平,唐继跃,庞霖,郭履容,郭永康;深蚀刻二元光学元件制作误差模拟[J];中国激光;1997年06期
9 周崇喜,邱传凯,郑永超,杨志卿;半导体激光器列阵二元光学准直器的设计和制作[J];光电工程;1998年S1期
10 Noelc·Magdonard;喻德政;;未来的光刻技术及设备[J];电子工业专用设备;1983年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 龚勇清;刘智怀;高益庆;罗宁宁;李平贵;;一种二元光学元件阵列微芯模的工艺设计研究[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
2 温尚明;;21世纪微电子光刻技术与设备的发展对策研究[A];西部大开发 科教先行与可持续发展——中国科协2000年学术年会文集[C];2000年
3 周杰;徐满平;杨齐民;;全息拍摄中二元光学元件的应用[A];2005年中国光学学会全息与光学信息处理专业委员会年会暨建会20周年纪念会[C];2005年
4 程冠晓;邢廷文;林妩媚;周金梅;邱传凯;廖志杰;马建玲;;低数值孔径振幅光子筛的设计和制作[A];中国光学学会2006年学术大会论文摘要集[C];2006年
5 张力;汤儆;马信洲;田中群;田昭武;曲东升;丁庆勇;孙立宁;;约束刻蚀剂层技术用于p型硅表面电化学微加工的研究[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集(下集)[C];2005年
6 张继成;吴卫东;许华;唐晓红;马小军;;微波等离子体离子束刻蚀技术[A];中国工程物理研究院科技年报(2005)[C];2005年
7 常磊;;ULSI配套材料248nm(KrF)光刻胶[A];集成电路配套材料研讨会及参展资料汇编[C];2004年
8 范细秋;张鸿海;汪学方;贾可;刘胜;;纳米压印光刻技术[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
9 王金意;蔡文斌;;基于自组装和喷墨打印技术的定位金属沉积[A];第十三次全国电化学会议论文摘要集(下集)[C];2005年
10 韩建华;李少华;张建平;江龙;;一种微流控芯片的封接方法及其应用[A];中国化学会第十二届胶体与界面化学会议论文摘要集[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 燕蕙;ASML支持EUV光刻技术[N];电子资讯时报;2004年
2 李壮;纳米浸入式光刻技术工业化在即[N];中国高新技术产业导报;2005年
3 记者 刘志达;清华与荷兰ASML合作研究光刻技术[N];光明日报;2002年
4 ;光刻技术实现20纳米刻制工艺突破[N];中国计算机报;2003年
5 杨春;台积电计划发展EUV光刻技术 技术和成本仍是最大障碍[N];电子资讯时报;2008年
6 沈建苗 编译;下一代光刻技术面临难题[N];计算机世界;2007年
7 冯卫东;美推出软干涉光刻技术[N];科技日报;2007年
8 穆强 赵艳秋 编译;下一代光刻技术的烦恼[N];中国电子报;2002年
9 莫大康;Intel放弃157nm光刻技术[N];中国电子报;2003年
10 卢庆儒;纳米压印技术趋近实用化[N];电子资讯时报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 杨祎巍;纳米级电路分辨率增强技术及可制造性设计研究[D];浙江大学;2010年
2 熊木地;大行程亚微米精度激光直写设备定位技术的研究[D];中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;2000年
3 谢永军;曲面激光直接写入技术[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
4 苑光辉;微纳结构光子学器件设计及理论分析[D];中国科学技术大学;2007年
5 刘韧;基于UV-LIGA光刻技术的曝光及后烘过程仿真研究[D];中国科学技术大学;2010年
6 杨雄;极紫外投影光刻掩模若干问题研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
7 陈文昱;浸没式光刻中浸液控制单元的液体供给及密封研究[D];浙江大学;2010年
8 孔祥东;电子束液态曝光技术的研究[D];山东大学;2005年
9 李凤有;激光直写光刻技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2002年
10 谷建强;太赫兹奇异介质研究[D];天津大学;2010年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李扬环;反向光刻技术和版图复杂度研究[D];浙江大学;2012年
2 姚树歆;基于32nm光刻双重图形技术的研究和工艺实践[D];复旦大学;2011年
3 刘鹏;利用二元光学元件实现激光波前整形[D];大连理工大学;2008年
4 孟英利;用于激光光束整形的二元光学元件的设计[D];大连理工大学;2009年
5 刘勋;应用于准分子激光波面整形的二元光学元件的设计研究[D];北京工业大学;2008年
6 田静;半导体光刻工艺中图形缺陷问题的研究及解决[D];复旦大学;2008年
7 袁伟;利用相移光刻掩膜版监测光刻机台焦距[D];上海交通大学;2007年
8 杨特育;高精度微光学器件激光直写光刻系统研究[D];华中师范大学;2007年
9 金晓刚;光刻工艺中的焦距异常发生原因分析及解决办法[D];复旦大学;2009年
10 樊柯;光刻可行性测试的实现及其优化方法[D];复旦大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026