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《第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集》2008年
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采用SPCE061A控制的白光干涉微纳扫描系统

魏永强  邹文栋  赵立忠  
【摘要】:本文针对小推力压电陶瓷迟滞特性,提出了一种用SPCE061A单片机控制的新型白光干涉微纳扫描系统设计。该扫描系统采用低压误差放大器OP07和高压功率放大器PA78双级放大器件为核心元件,使得系统的整体带宽与放大倍数可调解,并对扫描系统中压电陶瓷微位移器的迟滞曲线进行数学建模,结果表明:输出电压在0~200V连续可调,纹波电压的最大值为1.06mV;应用于微纳扫描控制,能获得20μm扫描范围,控制精度达10nm,线性度为0.9,阶越响应时间1.5μs,能实现对微纳扫描系统精确、快速的开环控制。
【作者单位】:南昌航空大学无损检测技术教育部重点实验室
【分类号】:TP273.5;O436.1

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【参考文献】
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