收藏本站
《第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集》2008年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究

赵升林  孙龙  
【摘要】:通过对镀膜过程的监测、数据采集与整理,建立数学模型并在matlab软件下的算法仿真与分析,对影响镀膜过程、镀膜质量的几个关键因素产生的原因进行了查找与分析,设计相应的解决方案,并且提出了一个膜系的偏差评价函数,这个函数可以综合评价镀膜的实际结果和目标结果的偏差,从而修正后续镀制的膜层。
【作者单位】:河南中光学集团
【分类号】:O484.1

手机知网App
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王伟;;物理光学课程教学改革与实践[J];安徽工业大学学报(社会科学版);2011年04期
2 常山;桑志文;毛杰健;朱品珍;;单色点源矩孔菲涅耳衍射光场的计算与模拟[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2010年04期
3 范希智,李国军;薄膜限抑全反射的讨论[J];鞍山师范学院学报;1996年04期
4 袁英,杨帆,孙骐;溶胶-凝胶多层高反射膜光学特性研究[J];安阳师范学院学报;2003年05期
5 杨帆,路达;多层介质高反膜理论设计与光学特性分析[J];安阳师范学院学报;2005年02期
6 孙艳,赵宏,王昭;光纤测厚中光谱“双峰”现象的分析[J];半导体光电;2005年04期
7 赵梅;航空相机焦面信息检测技术研究[J];半导体光电;2005年04期
8 周震;马建新;余重秀;;一种新型谐振腔增强型光调制器结构的研究[J];半导体光电;2006年03期
9 谢强;张晓梅;;声光Q开关用1.064μm融石英低损耗增透膜实验研究[J];半导体光电;2006年04期
10 侯识华;孙捷;毛容伟;吴旭明;马骁宇;谭满清;陈良惠;;基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器[J];半导体光电;2006年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 周言敏;李建芳;王君;袁勇;梅高国;;宽光谱监控法制作红外超宽带减反膜[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
2 李建芳;周言敏;王君;袁勇;梅高国;;光学薄膜在激光测距望远镜中的应用及设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
3 何平安;王基尧;翁兴涛;李松;余长明;;角锥棱镜直角误差斜入射法检测的理论分析[A];2000年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2000年
4 何平安;张剑;陈海波;;基于图像处理的自动调焦系统[A];2009年全国测绘仪器综合学术年会论文集[C];2009年
5 王华清;卢维强;薛唯;喻志农;;光学镀膜的AB监控法[A];2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集[C];2005年
6 毕军;易葵;于洪文;;电子束蒸发镀膜膜厚均匀性研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
7 张贵彦;袁宏韬;缪同群;;光学表面粗糙度的全积分测量法研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
8 金扬利;马勉军;;导纳轨迹图解方法在诱导透射滤光片设计中的应用[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
9 王建伟;安志勇;段杰;王欣;;基于CCD的光学系统焦距自动测量技术[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(A 光电系统总体技术专题)[C];2006年
10 任秀娟;曹雪峰;;关于蓝宝石减反膜的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 雷华;基于金字塔反射镜的视场无缝拼接技术研究[D];浙江大学;2010年
2 黄万霞;对称破缺及相变对超构材料光学性能的影响[D];南京大学;2011年
3 赵源;分光谱太阳能光电转换系统研究[D];复旦大学;2011年
4 郭培涛;长脉冲激光辐照下多孔薄膜激光损伤机制研究[D];武汉理工大学;2011年
5 康岩辉;阿伏伽德罗常数测量中硅球直径测量的若干关键问题研究[D];天津大学;2009年
6 杨田林;Zn_3N_2薄膜及AZO/Cu/AZO多层薄膜的制备与特性研究[D];天津大学;2010年
7 肖光宗;基于Y型腔正交偏振双频激光器的激光加速度计初步研究[D];国防科学技术大学;2011年
8 蔡盛;舰载导弹共架垂直发射方位瞄准系统研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
9 刘春雨;非球面补偿检测的准确度研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
10 陈旭;温度变化对绝对检验面形变形影响与补偿器方法研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 李东海;短脉冲激光对材料的作用及破坏机理研究[D];中国工程物理研究院;2010年
2 赵阳;太赫兹波带片的研究[D];山东科技大学;2010年
3 赵缨慰;900nm~1100nm抗激光损伤高反射膜的研究[D];长春理工大学;2010年
4 耿似玉;用于紫外指纹仪的短波通滤光片的研制[D];长春理工大学;2010年
5 张瑞丽;太阳能电池用α-SiC_x:H薄膜的制备与性能研究[D];浙江理工大学;2010年
6 吴中超;光纤声光光开关技术研究[D];电子科技大学;2010年
7 王东升;高精度球面面形绝对检测方法研究[D];浙江大学;2011年
8 高慧芳;LED照明颜色序列型LCoS微型投影仪设计[D];浙江大学;2011年
9 张淼;改进粒子群算法在薄膜参数反演与设计中的应用[D];西安工业大学;2011年
10 黄国俊;硅/锗掺杂类金刚石薄膜特性研究[D];西安工业大学;2011年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 卢明;陈恒;刘建荣;;光缆故障点准确定位方法[J];甘肃科学学报;2008年02期
2 ;色度计量及装置[J];中国光学与应用光学文摘;2000年04期
3 莫剑飞;张荣涛;;一种对流层电波折射误差修正方法[J];火力与指挥控制;2010年S1期
4 周日贵,龚勇清,邹文栋,聂爱球;霍尔效应实验误差分析[J];物理实验;2002年06期
5 牟晶晶;徐海松;许东晖;;在线色差检测的误差修正方案设计[J];光电工程;2007年02期
6 成濑健;岛田道南;吉井德治;李莉萍;;表面粗糙度引起的超声波厚度测量误差的修正方法[J];无损检测;2007年04期
7 葛宇宏;;气体粘滞阻力和光电计时器引起的系统误差及修正[J];大学物理实验;2007年03期
8 余和五;品格常数精确测定经验公式的探讨[J];南京师大学报(自然科学版);1989年04期
9 吴鸿钟,冯之敬,赵广木;自由曲面透镜误差修正加工控制的算法[J];光学技术;2000年06期
10 程诚,方鹏,朱晓东,耿松,詹如娟;大气压等离子体制备类二氧化硅薄膜的实验研究[J];真空科学与技术;2005年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 赵升林;孙龙;;薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究[A];第十七届十三省(市)光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集[C];2008年
2 冯志庆;刘东平;牛金海;古建东;;射频等离子体FC薄膜沉积实验研究[A];第十三届全国等离子体科学技术会议论文集[C];2007年
3 董志伟;增田开;T.纪井;山崎铁夫;吉川洁;;单通自由电子激光中自场引起的共振波长漂移[A];中国工程物理研究院科技年报(2001)[C];2001年
4 李言荣;陶伯万;熊杰;;YBCO高温超导带材研究[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
5 徐翔;王友年;;三频容性耦合等离子体反应器的数值模拟[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
6 牛金海;刘东平;张志慧;于乃森;冯志庆;;介质阻挡放电等离子体增强的化学气相沉积法制备CN薄膜研究[A];第十四届全国等离子体科学技术会议暨第五届中国电推进技术学术研讨会会议摘要集[C];2009年
7 陈学康;吴敢;杨建平;陈炯枢;王瑞;曹生珠;余荣;;电子束诱导的薄膜成核中心[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
8 周浩;安琪;李玉生;;基于数字后处理算法的8位4Gsps并行交替采样ADC系统[A];第十四届全国核电子学与核探测技术学术年会论文集(1)[C];2008年
9 张魁武;;激光物理气相沉积术(一)[A];中国光协激光专业分会四届一次理事扩大会议论文集[C];2001年
10 张天伟;杨会生;王燕斌;陆永浩;;等离子体环境对ITO薄膜低温生长的作用[A];TFC'07全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前1条
1 沙踪;中国电波传播研究五十年回眸[N];中国电子报;2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 刘莉莹;大气压射频Ar/H_2/SiCl_4等离子体射流实验诊断及其沉积硅薄膜研究[D];大连理工大学;2011年
2 梅显秀;强流脉冲离子束类金刚石薄膜沉积及高速钢辐照处理研究[D];大连理工大学;2002年
3 于威;晶态氮化碳薄膜沉积及其生长机理研究[D];河北大学;2002年
4 杨大鹏;立方氮化硼、六方硼碳氮化合物的高压合成及应用研究[D];吉林大学;2008年
5 李智华;KTN薄膜制备与PLD机理研究[D];华中科技大学;2004年
6 李德禄;聚合物阵列波导光栅的温度特性和无热化[D];吉林大学;2008年
7 宋扬;中高频下粘弹性材料声学参数测量[D];哈尔滨工程大学;2007年
8 周金龙;新型光纤光栅技术及其在光通信与光纤传感方面应用的研究[D];厦门大学;2008年
9 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
10 庄娟;大气压高频辉光混合气体放电数值模拟[D];大连理工大学;2011年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 蔡婷;磁控溅射制备含氦钛膜及薄膜沉积蒙特卡罗模拟的研究[D];复旦大学;2007年
2 刘洋;纳米丝拉伸及纳米薄膜沉积过程的分子动力学模拟[D];兰州大学;2007年
3 赵元安;激光偏振膜稳定性研究[D];四川大学;2001年
4 黄庆新;平板激光偏振分光膜的设计与制备[D];长春理工大学;2008年
5 张海燕;氟掺杂SiCOH薄膜沉积的等离子体化学特性研究[D];苏州大学;2008年
6 邓明;相似模拟实验中光纤光栅测试的温度补偿方法[D];西安科技大学;2006年
7 郝晶晶;波长移相干涉测量技术研究[D];南京理工大学;2007年
8 李静;基于DSP的光纤光栅解调系统研究[D];浙江大学;2008年
9 赵天;基于化学腐蚀方法制作的干涉型光纤传感器[D];电子科技大学;2012年
10 赵志胜;一种光纤光栅温度增敏装置的研究[D];吉林大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026