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《第十七届十三省（市）光学学术年会暨“五省一市光学联合年会”论文集》2008年
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薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究

赵升林  孙龙  
【摘要】：通过对镀膜过程的监测、数据采集与整理,建立数学模型并在matlab软件下的算法仿真与分析,对影响镀膜过程、镀膜质量的几个关键因素产生的原因进行了查找与分析,设计相应的解决方案,并且提出了一个膜系的偏差评价函数,这个函数可以综合评价镀膜的实际结果和目标结果的偏差,从而修正后续镀制的膜层。
【作者单位】：河南中光学集团
【分类号】：O484.1

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【共引文献】
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1 王伟;;物理光学课程教学改革与实践[J];安徽工业大学学报(社会科学版);2011年04期
2 常山;桑志文;毛杰健;朱品珍;;单色点源矩孔菲涅耳衍射光场的计算与模拟[J];安徽师范大学学报(自然科学版);2010年04期
3 范希智,李国军;薄膜限抑全反射的讨论[J];鞍山师范学院学报;1996年04期
4 袁英,杨帆,孙骐;溶胶-凝胶多层高反射膜光学特性研究[J];安阳师范学院学报;2003年05期
5 杨帆,路达;多层介质高反膜理论设计与光学特性分析[J];安阳师范学院学报;2005年02期
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7 赵梅;航空相机焦面信息检测技术研究[J];半导体光电;2005年04期
8 周震;马建新;余重秀;;一种新型谐振腔增强型光调制器结构的研究[J];半导体光电;2006年03期
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10 侯识华;孙捷;毛容伟;吴旭明;马骁宇;谭满清;陈良惠;;基于InP/空气隙分布布拉格反射镜的微机械可调谐光滤波器[J];半导体光电;2006年05期
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2 李建芳;周言敏;王君;袁勇;梅高国;;光学薄膜在激光测距望远镜中的应用及设计[A];中国光学学会2010年光学大会论文集[C];2010年
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6 毕军;易葵;于洪文;;电子束蒸发镀膜膜厚均匀性研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
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8 金扬利;马勉军;;导纳轨迹图解方法在诱导透射滤光片设计中的应用[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
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10 任秀娟;曹雪峰;;关于蓝宝石减反膜的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集（B 光学系统设计与制造技术专题）[C];2006年
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