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《苏州市自然科学优秀学术论文汇编(2008-2009)》2010年
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微波等离子体化学气相沉积高<100>定向的{100}晶面组成的纳米金刚石薄膜的制备和结构表征

唐春玖  
【摘要】:本文首次报道高质量高生长速率2.6微米/小时的高100定向的{100}晶面组成的纳米金刚石薄膜的制备和表征。我们利用一台5千瓦的微波等离子体化学气相沉积设备,采用在氢气和甲烷的等离子体中添加少量氮气和氧气,微波功率3000瓦,衬底温度约750摄氏度的条件下在直径5.08厘米的(100)硅圆片衬底上获得该纳米金刚石膜。X射线衍射晶向和织构分析清晰地表明了该膜的100高定向。高分辨率扫描电镜和原子力显微镜明确显示一个厚度为76微米的纳米膜具有圆柱状微结构,其正方形{100}晶面,平均大小在60纳米左右,在1平方微米面积上均方粗糙度是15纳米。喇曼光谱明确证实该膜是高品质的金刚石。可以预测这样的高质量的表面光滑的高100定向的{100}晶面组成的纳米金刚石薄膜对机械,摩擦和微电机系统具有强大应用前景。
【作者单位】:常熟理工学院
【分类号】:O484.1

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