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《2107年航空智能装备学术论文集》2017年
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一种快速响应的TiO_2纳米湿度传感器研究

杜鹏  苏长远  陈棪  刘晓宁  
【摘要】:通过水热法,将TiO_2纳米阵列定向生长在Au插指电极之间,纳米棒沿着金电极表面向外生长,纳米阵列疏松多孔,直径大约20 nm,长度大约500 nm。并分别在6%~97%的相对湿度条件下测量样品的交流电容(C)和交流阻抗(Z)变化达到3个数量级。最好的线性性和最小的湿滞是测量频率为400Hz时的交流阻抗,此时纳米湿度传感器的响应和恢复时间分别是1 s和3 s,明显比纳米颗粒型的湿度传感器具有更高的灵敏度和响应特性,这可能是由于TiO_2纳米阵列的结构可以形成较好的水汽通道,有利于水分子进出,因此湿度传感器有着较好的灵敏度和响应速度。
【作者单位】:航空工业成都凯天电子股份有限公司
【分类号】:TP212;TB383.1;TH765.5

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