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《2006中国西部青年通信学术会议论文集》2006年
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高速聚合物电光调制器的制备技术

黄成功  陈福深  
【摘要】:随着光通信的飞速发展,高速聚合物电光调制器的应用更加重要广泛。聚合物薄膜是制造聚合物光电调制器的基础。文中介绍了高速聚合物电光调制器聚合物薄膜的几种制备方法。

【参考文献】
中国期刊全文数据库 前4条
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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 郝慧娟,张玉林,卢文娟;二氧化硅的反应离子刻蚀[J];电子工业专用设备;2005年07期
2 张磊,张晓玉,张福甲,姚汉民,杜春雷,刘强,潘莉;硅基光子晶体板的光刻和反应离子刻蚀[J];光电工程;2004年02期
3 张锦,杜春雷,冯伯儒,王永茹,周礼书,侯德胜,郭勇邱,传凯,林大键;用反应离子刻蚀技术制作二元光学元件[J];光电工程;1997年S1期
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5 蒋毅坚,荆涛,陈涛;采用显微拉曼光谱技术检测激光微加工质量[J];光散射学报;2003年01期
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中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 王英;杨明来;张效岩;蔡炳初;徐东;张亚非;;纳米粒子单层膜作掩模的纳米刻蚀技术研究[A];中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集(一)[C];2005年
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中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 刘莹;准分子激光加工表面微观形貌表征及其特征研究[D];武汉理工大学;2002年
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3 鲁平;新型阵列波导器件的理论与实验研究[D];华中科技大学;2005年
4 石玲;细观光测力学研究中的高频全息光栅及精细网格技术[D];清华大学;1994年
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6 陈鹭剑;共轭多烯类杂化材料的设计、制备及非线性光学研究[D];浙江大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 赵洪策;桌面式微型工厂的建模和仿真与可视化关键技术研究[D];西北工业大学;2001年
2 韩晓星;用于热光光开关的聚合物薄膜波导制作[D];华中科技大学;2004年
3 王强;VLSI工艺中铝互连与蚀刻的研究[D];电子科技大学;2005年
4 何小锋;反应离子刻蚀设备的方案设计研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 佘东生;聚合物微结构热压成形设备的温度控制系统[D];大连理工大学;2006年
6 张国伟;聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
7 董璐;基于MEMS的压电型微能量采集器的研究[D];上海交通大学;2007年
8 吴爱华;极化聚合物电光开关的应用研究[D];吉林大学;2007年
9 曾文虹;螺旋型集成光波导延迟线关键技术研究[D];电子科技大学;2007年
10 高宇;聚合物波导传输损耗与电光系数的测量[D];电子科技大学;2007年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 王健华,金峰,俞谦,孙可,李德杰,蔡丽红,黄绮,周钧铭,王玉田,庄岩;InGaAs/InAlAs多量子阱电吸收光调制器[J];半导体学报;1998年01期
2 贾振红;用光漂白法制备聚合物薄膜光栅耦合器[J];激光技术;2000年03期
3 张锦,杜春雷,冯伯儒,王永茹,周礼书,侯德胜,林大键;红外材料Ge的刻蚀研究[J];微细加工技术;1997年01期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 余山;章定康;黄敝;;反应离子刻蚀(RIE)Si_3N_4的研究[J];电子工艺技术;1991年05期
2 刘家璐,张廷庆,刘华预,王清平,叶兴耀;HBr反应离子刻蚀硅深槽[J];微电子学;1995年04期
3 胡思福,格林M;硅氧化物反应离子刻蚀均匀性研究(英文)[J];电子科技大学学报;1991年02期
4 赵伟;超高速ECL工艺中铝和硅-铝的反应离子刻蚀[J];微电子学;1991年04期
5 应再生,黄涛;铌酸锂的反应离子刻蚀[J];微细加工技术;1992年01期
6 马宏;AlSiCu反应离子刻蚀技术[J];微电子学;1994年03期
7 李晓东;谭震宇;王菲;郑红丽;孙小强;张大明;;基于PDMS的倒脊形波导电光调制器的设计与制备[J];光子学报;2011年04期
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9 税必继,郭永康,粟敬钦,姚军,杜春雷,周礼书,张锦,王永茹;用反应离子刻蚀技术制作Ge菲涅尔微透镜列阵[J];四川大学学报(自然科学版);1998年01期
10 唐圣明,陈思琴,熊幸果;硅传感器反应离子刻蚀的观察[J];电子显微学报;2000年04期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 彭冬生;金柯;;硅衬底微球反应离子刻蚀技术研究[A];中国光学学会2011年学术大会摘要集[C];2011年
2 黄成功;陈福深;;高速聚合物电光调制器的制备技术[A];2006中国西部青年通信学术会议论文集[C];2006年
3 唐圣明;陈思琴;熊幸果;;硅传感器反应离子刻蚀的观察[A];第十一次全国电子显微学会议论文集[C];2000年
4 王卓;孙大亮;胡季帆;许效红;王栋;王民;王弘;王春雷;陈焕矗;房昌水;刘训春;魏珂;;Bi_2Ti_2O_7薄膜的反应离子刻蚀及原子力显微镜研究[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
5 姜建东;孙承龙;王渭源;陈芬扣;叶树萍;王德宁;;SF_6/CCl_2F_2中加O_2反应离子深刻蚀Si[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年
6 罗飚;沈坤;阳洪涛;谈春雷;;DFB-LD的光栅干法刻蚀研究[A];全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议(OFCIO’2003)论文集[C];2003年
7 徐向东;洪义麟;霍同林;周洪军;陶晓明;傅绍军;;同步辐射Laminar光栅的研制[A];现代光学制造技术论文集[C];2002年
8 王鹏飞;鄂书林;马春生;张大明;邓文渊;王宪银;孙德贵;;聚合物三微环垂直信道谐振插分滤波器的设计[A];大珩先生九十华诞文集暨中国光学学会2004年学术大会论文集[C];2004年
9 张希珍;张丹;张海明;吕赵鸿;张大明;孙伟;;有机掺铒波导放大器的最新进展[A];全国第十二次光纤通信暨第十三届集成光学学术会议论文集[C];2005年
10 徐洪耀;光善仪;蒋民华;王江洪;余从煊;;聚合物波导的制备和折射率的测试[A];第二届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1995年
中国重要报纸全文数据库 前4条
1 董大为;挑战小于100纳米半导体设备[N];中国电子报;2001年
2 中微半导体设备(上海)有限公司董事长兼CEO 尹志尧;设备研发应重视专利积累[N];中国电子报;2011年
3 中国电子专用设备工业协会秘书长 金存忠;半导体设备:围绕市场热点做文章[N];中国电子报;2010年
4 记者 张秀华 通讯员 李坤宁;浦东科技工作再拔全市头筹[N];上海科技报;2010年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王菲;硅基聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制[D];吉林大学;2005年
2 张希珍;1.55μm波段聚合物光波导放大器的基础研究[D];吉林大学;2007年
3 周立兵;硅基二氧化硅型阵列波导光栅的研制[D];华中科技大学;2005年
4 姜伟;含硫氟代可自交联聚酰亚胺光波导材料的合成及性能研究[D];吉林大学;2008年
5 张海明;硅基聚合物阵列波导光栅器件的优化设计和实验制备[D];吉林大学;2007年
6 陆荣国;有机聚合物集成光学RF移相器关键技术研究[D];电子科技大学;2009年
7 王燕东;基于胶体刻蚀技术构筑微纳结构及其应用[D];吉林大学;2013年
8 王凌华;聚合物集成光子器件的优化制备及其应用研究[D];大连理工大学;2013年
9 张斗国;微纳金属复合结构的光学特性及其应用基础研究[D];中国科学技术大学;2007年
10 曹萌;干法刻蚀和离子注入影响Ⅲ-Ⅴ族半导体量子阱发光特性研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张国伟;聚合物阵列波导光栅波分复用器的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2006年
2 檀承志;掺铒有机聚合物光波导放大器研究[D];吉林大学;2006年
3 李晨;有机聚合物电光调制器的设计与实验研究[D];电子科技大学;2008年
4 何小锋;反应离子刻蚀设备的方案设计研究[D];国防科学技术大学;2004年
5 周宏;用于半导体激光器阵列准直的微透镜设计与工艺研究[D];华中科技大学;2005年
6 曾四化;聚合物波导型光衰减器的研究[D];华中科技大学;2004年
7 谢申奇;基于纳米压印技术的大面积高密度光栅的研制[D];复旦大学;2008年
8 虞江;计算机控制的反应离子刻蚀系统及刻蚀研究[D];浙江大学;2002年
9 朱赤;反应离子刻蚀的计算机仿真[D];东南大学;2006年
10 王纳迪;用于微光机械振动传感器的聚合物波导集成光路研究[D];吉林大学;2006年
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