收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

MEMS材料力学性能测试方法综述

陈樟  苏伟  万敏  
【摘要】:随着微电子机械系统(MEMS)的蓬勃发展,对MEMS力学性能的研究越来越成为各方关注的热点。因为力学性能的优劣直接关系到MEMS产品设计,制造和可靠性的优劣。加之由于其尺度的微小,传统的力学性能测试方法和设备不能直接用于测试,因此,如何测试MEMS材料(结构)的力学性能成为了关键。国内外一些学者在此方面做了部分研究,本文对一些典型的测试方法进行阐述。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 黄子伦;控制MEMS封装成本的圆片规模封装[J];电子与封装;2003年06期
2 金铃;MEMS技术研究及应用[J];现代雷达;2004年12期
3 邵雯雯,惠春,徐爱兰;BST-MEMS移相器开关[J];电子元件与材料;2004年10期
4 赵继德,李应良,马传龙;共面波导结构MEMS滤波器的设计[J];电子元件与材料;2005年02期
5 卿健,石艳玲,赖宗声,朱自强;MEMS移相器及其在微型通信系统中的应用[J];微电子学;2002年04期
6 鞠挥;迅速进入光开关市场的MEMS[J];光机电信息;2001年06期
7 杨拥军,梁春广;MEMS光开关技术进展[J];世界产品与技术;2003年06期
8 郭方敏,朱守正,魏华征,郑莹,朱荣锦,忻佩胜,朱自强,赖宗声,杨根庆,陆卫;相位连续可调毫米波MEMS移相器的研制[J];华东师范大学学报(自然科学版);2004年01期
9 廖勇明,董立军,韩敬东,陈大鹏,叶甜春;用SiH_2Cl_2沉积MEMS中的多晶硅薄膜研究[J];电子工业专用设备;2005年01期
10 赵继德,李应良;全光网络中的MEMS光开关[J];激光杂志;2005年03期
11 龙永福,石艳玲,赖宗声,朱自强,朱荣锦,忻佩胜,李炜;偏置电压对射频/微波MEMS电容开关寿命的影响[J];微电子学;2004年01期
12 孙道恒,马海阳,李文望;基于Krylov子空间法的MEMS降阶建模与仿真[J];机械工程学报;2004年05期
13 刘文芹;MEMS光开关研究[J];传感器世界;2005年04期
14 林国平;智能微系统将是未来的战略发展方向[J];世界电子元器件;1998年09期
15 何锋,何海,王航;MEMS光开关的控制[J];半导体技术;2003年11期
16 卿健,石艳玲,李炜,朱自强,赖宗声;射频分布式MEMS移相器Bragg频率的研究[J];华东师范大学学报(自然科学版);2004年02期
17 顾洪明,吕苗,梁春广,高葆新;MEMSE类放大器[J];半导体学报;2003年04期
18 周鹏,李伟华;MEMS综合与设计优化[J];电子器件;2004年02期
19 杨道虹,徐晨,董典红,金文贤,阳启明,张剑铭,沈光地;激光熔融键合在新型室温红外探测器的应用[J];功能材料与器件学报;2004年02期
20 韩翔,李轶,吴文刚,闫桂珍,郝一龙;用于MEMS的单晶硅上无电镀铜、镀镍工艺[J];半导体学报;2005年05期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈樟;苏伟;万敏;;MEMS材料力学性能测试方法综述[A];第二届全国信息与电子工程学术交流会暨第十三届四川省电子学会曙光分会学术年会论文集[C];2006年
2 赵兴海;杜亦佳;郑英彬;陈颖慧;高杨;鲍景富;苏伟;;D波段MEMS波导滤波器研究[A];2011年全国微波毫米波会议论文集(下册)[C];2011年
3 许建军;孔学东;李斌;师谦;;MEMS封装技术及其可靠性[A];中国电子学会可靠性分会第十三届学术年会论文选[C];2006年
4 金翠云;李一博;靳世久;王立坤;;MEMS动态测试系统中频闪驱动电路的实现[A];中国仪器仪表学会第五届青年学术会议论文集[C];2003年
5 钮利荣;李拂晓;王学之;林金庭;刘庭华;章文勋;;Ku波段单片MEMS砷化镓振荡器和辐射天线[A];2001年全国微波毫米波会议论文集[C];2001年
6 郭宁;高军;聂文虎;邱家稳;;空心阴极在空间技术中的应用[A];第八届真空技术应用学术年会论文集[C];2005年
7 范细秋;张鸿海;胡晓峰;贺德建;;一种与集成电路工艺兼容的三维结构刻蚀技术研究[A];全国生产工程第九届年会暨第四届青年科技工作者学术会议论文集(二)[C];2004年
8 刘眉存;胡圣;吴生虎;;电子元器件破坏性物理分析(DPA)综述[A];第十一届全国可靠性物理学术讨论会论文集[C];2005年
9 陈大鹏;焦彬彬;李超波;石莎莉;史海涛;程腾;张青川;伍小平;;非制冷MEMS红外成像系统[A];2007年红外探测器及其在系统中的应用学术交流会论文集[C];2007年
10 彭道勇;刘春和;刘海敏;刘雪峰;;以可靠性为中心的维修RCM综述[A];2005第二届电子信息系统质量与可靠性学术研讨会论文集[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 董良;MEMS集成室温红外探测器研究[D];清华大学;2004年
2 杨海波;多孔硅基MEMS非制冷红外探测器微结构与工艺研究[D];天津大学;2010年
3 陈建军;基于MEMS技术的细胞破碎微流控芯片系统研究[D];华中科技大学;2010年
4 曾徵丹;杂质对直拉硅单晶力学性能的影响[D];浙江大学;2011年
5 关荣锋;MEMS器件设计、封装工艺及应用研究[D];华中科技大学;2005年
6 黄闯;基于左右手复合传输线和MEMS的新型微波器件研究[D];上海交通大学;2010年
7 刘红梅;用于MEMS的PZT压电厚膜及硅基压电悬臂梁的制备研究[D];哈尔滨工程大学;2009年
8 程腾;基于MEMS技术的光学读出非制冷红外成像系统研究[D];中国科学技术大学;2010年
9 周闵新;多层膜结构电容式压力传感器及其CMOS兼容工艺的研究[D];东南大学;2006年
10 张洁;面向显示基于MEMS光栅光调制器光学分析和实验[D];重庆大学;2006年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 程美英;硅基微机械红外光源的设计和制备[D];厦门大学;2009年
2 李斌斌;MEMS带通滤波器的设计研究[D];西安电子科技大学;2011年
3 谢兴军;静电驱动MEMS微波开关设计与仿真[D];重庆大学;2004年
4 郭南翔;悬臂梁式MEMS探卡的设计和制造技术[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2005年
5 宗杨;MEMS中多孔硅的原电池法制备及绝热性能模拟[D];天津大学;2007年
6 李炜;硅基微波MEMS移相器的优化设计与性能分析[D];华东师范大学;2004年
7 金翠云;基于机器微视觉的MEMS平面微运动测试技术的研究[D];天津大学;2003年
8 沈亨;MEMS视网膜芯片的设计与研究[D];长春理工大学;2008年
9 田菲;硅微通道氧化特性的进一步研究[D];华东师范大学;2009年
10 杨地委;用于气体检测的MEMS电容式红外光强探测器的设计与制备技术研究[D];中国科学技术大学;2011年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 焦继伟;MEMS满足未来移动通信需要[N];中国电子报;2004年
2 中国电子科技集团公司第49研究所信息中心主任 曹金名;微电子机械系统开辟新世界[N];中国电子报;2003年
3 本报记者 诸玲珍;MEMS麦克风市场升温 国内企业积极跟进[N];中国电子报;2009年
4 ;用MEMS方法制备麦克风刻不容缓[N];中国电子报;2009年
5 ;提高MEMS麦克风性价比是关键[N];中国电子报;2009年
6 上海硅知识产权交易中心;MEMS麦克风发展迅速 全球专利量呈上升趋势[N];中国电子报;2010年
7 本报记者 许泳;3D MEMS 传感器深入应用市场[N];计算机世界;2011年
8 ;创新商务模式深耕MEMS麦克风市场[N];中国电子报;2009年
9 本报记者 冯健;美新半导体:高集成MEMS芯片先行者[N];中国电子报;2009年
10 ;MEMS革新手机操控方式 用户体验至关重要[N];中国电子报;2009年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978