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CZ14型压电加速度传感器机电耦合仿真分析

罗承刚  
【摘要】：本文基于有限元方法对CZ14型压电加速度传感器进行了数值分析,考虑压电材料与结构的机电耦合,预估结构参数对电荷输出的影响,用以指导和改进传感器的结构设计。结果表明仿真与试验数据吻合良好,从而为实现传感器结构的优化设计创造了很好的条件。

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