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纳米Pd/CaO复合膜的制备

李雄伟  刘实  
【摘要】：正纳米 Pd/CaO 复合薄膜是研究低温嬗变现象的重要材料。本实验采用真空蒸镀的方法制备了 Pd/CaO 复合膜,Pd 膜是通过采用钨坩埚+氧化铝电阻蒸镀获得,CaO 膜则通过电子束加热的方法获得,通过交替镀膜的方法来制备 Pd/CaO 复合膜。由于 CaO 易吸水和 CO_2而变质,研究发现设备及衬底的干燥预处理是成功制备 Pd/CaO 复合膜的关键。干燥预处理前的 XPS 深度分布的

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