精密靶装配在线显微视觉检测技术研究
【摘要】:正惯性约束聚变(ICF)实验微靶的装配是靶制备过程中的关键工序,其质量直接影响物理实验结果的精度和可靠性。长期以来,靶装配主要依赖于操作人员手工在体视显微镜下完成,在装配过程中缺少在线监测和精密检测的手段,装配精度得不到很好的保证,尤其是实验样品的位置精度,而激光聚变实验打靶的装配精度要求越来越高,如何在手工装配过程中实现靶零件位置的精
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