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椭偏光度法研究溶胶—凝胶SiO_2薄膜的光学性能

肖轶群  沈军  周斌  徐超  薛辉  
【摘要】:为满足惯性约束核聚变的需要,高功率强激光系统的规模日益扩大,溶胶-凝胶薄膜由于其优异的抗激光损伤性能被大量地使用于强激光系统的光学元件中。本文采用溶胶-凝胶工艺分别在碱性和酸性催化条件下制备了具有纳米多孔结构的SiO_2薄膜,利用反射式扫描椭圆偏振光谱仪测量薄膜的椭偏参数,并利用Cauchy模型对测量值进行了较好的数据拟合,获得了薄膜光学常数在300~700nm波段的色散关系;利用FE-SEM研究了薄膜表面微结构,并讨论了它与薄膜光学性能之间的关系。结果表明,制备条件不同导致的薄膜微结构差异对光学常数的色散关系变化趋势无影响;薄膜光学常数的大小则与微结构有关,折射率大小与薄膜孔洞率成反比。

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