收藏本站
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

重离子在固体靶中的纵向和横向分布参数的计算

王克明  时伯荣  
【摘要】:正用离子束技术来改变固体表面及近表面层的性质是近代科学史上的一个重要发现。六十年代以来,离子束技术已成功地用于大规模集成电路,超大规模集成电路以及化合物半导体器件。随着科学技术的发展。离子注入已由半导体领域进入其它领域,如金属、绝缘体、超导。因而,注入离子在多元靶中的射程分布引人关注,因为离子注入化合物半导体、陶瓷, 磁性材料、光电子材料、聚合物等均涉及多元靶中的射程问题。

知网文化
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前20条
1 ;“大规模集成电路积木块式总体布线方法的研究”达国际先进水平[J];安徽大学学报(自然科学版);1991年03期
2 栗天德;刘树勇;;微电子的篇章[J];科学世界;1997年09期
3 柳襄怀,王曦,杨根庆,江炳尧,郑志宏,黄巍,林梓鑫,邹世昌;用离子束技术改善金属间化合物Ni_3Al(0.1B)的耐腐蚀和抗氧化性能研究[J];自然科学进展;1994年03期
4 李玉璞,王佩璇,马如璋,张国光,刘家瑞,朱沛然,邱长青,徐田冰,杨锋;离子束技术在金属中氦行为研究中的应用[J];物理;1989年09期
5 李致洁;集成电路和大规模集成电路[J];物理;1977年06期
6 李旭东,翁杰,王培禄,赵纯培,张兴栋;离子束技术沉积羟基磷灰石薄膜的结构及溶解性能[J];无机材料学报;1998年04期
7 ;造型新颖的按钮式电话机[J];今日科技;1985年06期
8 邱显清,朱起明,W.Fischer,J.Hagen;离子束技术改性苯甲醛加氢反应Pd/Al_2O_3催化剂[J];自然科学进展;1998年05期
9 楼希澄;;美日企业体制的某些重要差异[J];科技导报;1987年04期
10 陈昌明,潘浩昌,朱德彰,胡钧,李民乾;硅基材料芯片的组合离子束合成及分析[J];高技术通讯;1999年02期
11 阳生红;;SiC及其离子束技术在SiC研究中的应用[J];中山大学研究生学刊(自然科学版);2000年01期
12 孙彦卿;;大规模集成电路的关键电路之一——他举电路[J];辽宁大学学报(自然科学版);1979年02期
13 赵宏;;追踪昆虫的集成电路[J];江苏蚕业;1989年02期
14 李凤嵘;;生物技术的能量[J];科技资讯;2007年12期
15 ;大规模集成电路芯片的显微照片[J];自然杂志;1984年05期
16 周振清;;美国正在开发肉眼看不见的“微小机器”[J];世界科学;1989年06期
17 裴崇友;;发展新一代计算机[J];山东科学;1989年01期
18 雷有华,武元祯;液晶显示控制和驱动大规模集成电路的进展[J];液晶与显示;1993年04期
19 姚淑德;丁志博;王坤;陈迪;法涛;陈田祥;;用离子束技术研究稀磁半导体和纳米磁性材料[J];核技术;2010年03期
20 刘丰;张伟丽;晋云霞;;离子束技术对氧化铪薄膜性能的影响[J];强激光与粒子束;2011年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王克明;时伯荣;;重离子在固体靶中的纵向和横向分布参数的计算[A];第九届全国核物理大会论文摘要汇编[C];1994年
2 李健;韦习成;李仕忠;;薄层强化技术在机械零件上的应用前景展望[A];第二届全国青年摩擦学学术会议论文专辑[C];1993年
3 陈燕;刘英民;赵子强;蓝鼎;王育人;;MeV辐照聚苯乙烯微球各向异性形变的研究[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
4 赵渭江;;离子束技术挑战浅结工艺的发展态势及启示[A];2008年全国荷电粒子源、粒子束学术会议暨中国电工技术学会第十二届电子束离子束学术年会、中国电子学会焊接专业委员会第九届全国电子束焊接学术交流会、粒子加速器学会第十一届全国离子源学术交流会、中国机械工程学会焊接分会2008年全国高能束加工技术研讨会、北京电机工程学会第十届粒子加速器学术交流会论文集[C];2008年
5 姚淑德;丁志博;王坤;陈迪;法涛;陈田祥;;用离子束技术研究稀磁半导体和纳米磁性材料[A];第二届全国核技术及应用研究学术研讨会大会论文摘要集[C];2009年
6 刘明贵;李祺;;RSM-12G(H)桩基动测仪性能介绍[A];第三届全国岩石动力学学术会议论文选集[C];1992年
7 黄楠;冷永祥;杨萍;陈俊英;孙鸿;戴楠;;离子束材料改性 一种迅速走向工业应用的材料表面工程高技术[A];重庆汽车摩托车、焊接、涂装学术研讨会文集[C];2000年
8 傅丰林;贾新章;吴玉广;;电子与电气信息专业大规模集成电路设计工程教育的研究与实践[A];电子高等教育学会2002年学术年会论文集[C];2002年
9 胡晓东;罗康俊;余波;周强;林珂;雷霆;方针;;采用离子束技术对半球振子进行质量调平[A];中国惯性技术学会第五届学术年会论文集[C];2003年
10 刘冬生;张祖培;肖荣;;离子束技术提高人造金刚石强度的实验研究[A];探矿工程(岩土钻掘工程)技术与可持续发展研讨会论文集[C];2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 张军;光纤通信中的级联码技术及其实现研究[D];东南大学;2006年
2 吴斌;H.264解码关键算法的VLSI实现研究[D];吉林大学;2008年
3 周林;光学镜面离子束修形理论与工艺研究[D];国防科学技术大学;2008年
4 武建芬;离子束加工技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 陈加和;大规模集成电路用同族元素掺杂直拉硅单晶的微缺陷及其缺陷工程[D];浙江大学;2008年
6 童建农;深亚微米/纳米V-SOI MOSFET的建模与模拟[D];华中科技大学;2004年
7 王剑;一类新型联想记忆神经网络研究[D];华南理工大学;2003年
8 苏娟华;大规模集成电路用高强度高导电引线框架铜合金研究[D];西北工业大学;2006年
9 陈运必;高性能运动估计的架构设计与优化的研究[D];中国科学技术大学;2011年
10 王烁;数字视频播放系统的研究[D];华中科技大学;2004年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 冉杰;离子束技术制备聚酰亚胺基体铜膜与钛/铜膜的性能研究[D];清华大学;2010年
2 廖文林;高精度球体类零件离子束确定性修形技术研究[D];国防科学技术大学;2010年
3 关亚男;大规模集成电路的平行缝焊工艺研究[D];哈尔滨理工大学;2007年
4 王伯营;大规模集成电路界面热阻试验研究[D];武汉理工大学;2006年
5 丁强;基于CDV的随机测试技术[D];西安电子科技大学;2007年
6 白金纬;基于电流的数字集成电路故障诊断的方法研究[D];电子科技大学;2008年
7 刘宝阳;基于BIST的带时延故障的FPGA测试[D];哈尔滨工程大学;2006年
8 杜社会;FPGA时延故障测试技术研究[D];湖南大学;2008年
9 郑德生;基于GSTE验证的细化问题的研究[D];电子科技大学;2008年
10 廖馥丹;基于IP核的SoC测试策略研究[D];上海交通大学;2010年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 记者  傅勇;日本三巨头联合开发大规模集成电路[N];经济参考报;2006年
2 汪恒玉 蔺聪若;中铝洛铜一研发项目获省科技进步一等奖[N];中国有色金属报;2007年
3 证券时报记者 魏曙光;电子行业迎来历史机遇期[N];证券时报;2008年
4 杨晓娟;离子束技术推进柠檬酸工艺创新[N];中国化工报;2002年
5 李济 王梅;西部首条大规模集成电路生产线在西安建成[N];中国质量报;2007年
6 钱铮;用可擦写大规模集成电路杀病毒[N];科技日报;2006年
7 通讯员 钟益 记者 师炜;西部首条大规模集成电路生产线建成[N];西安日报;2007年
8 北京凝思科技有限公司 科学博士 宫敏;关于我国大规模集成电路和CPU事业的思考[N];中国高新技术产业导报;2002年
9 钱铮;日本利用可擦写大规模集成电路消除电脑病毒[N];中国社会报;2006年
10 记者 王俊鸣;科学家让碳纳米管在集成电路上“听从安排”[N];科技日报;2006年
中国知网广告投放
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62982499
  • 010-62783978