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《科技、工程与经济社会协调发展——河南省第四届青年学术年会论文集(上册)》2004年
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多孔硅中氧、碳、氮行为的研究

王海燕  段启亮  卢景霄  孙晓峰  陈泳生  冯团辉  李瑞  
【摘要】:本文用化学腐蚀法在多晶硅片上制作多孔硅,通过不同的热处理过程,对多孔硅的表面微结构的SEM测量,分析了其表面结构特点。通过SEM、X—EDS、Raman及XPS研究了氧在多孔硅层中的主要热行为。论述了在多孔硅用于太阳能电池时应注意的问题。
【作者单位】:郑州大学物理工程学院
【分类号】:TN304

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