收藏本站
《2006年湖北省博士论坛——先进制造技术与制造装备论文集》2006年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

一种高精度非接触式位移传感器及其应用

陈育荣  杨旭东  谢铁邦  
【摘要】:聚焦探测法是表面形貌非接触测量中的主要方法之一。然而.由于在聚焦伺服系统中采用了音圈电机.传统的聚焦探测传感器的测量精度较为有限。本文介绍了一种新型的基于改进傅科聚焦探测法且自带衍射光栅计量系统的非接触式位移传感器。因为没有采用音圈电机而是采用压电陶瓷驱动器.所以这种自带衍射光栅计量系统的传感器具有更高的精度。在测量工件表面形貌时.压电陶瓷驱动器驱动聚焦物镜进行垂直位移.从而确保在每一个采样间隔中焦点总是落在工件表面上,同时使得聚焦误差信号回零。该非接触式位移传感器的分辨率为10nm。

【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王彦军;;基于红外激光位移传感器轨距在线测量的研究[J];铁道建筑;2008年11期
2 王俊杰;刘波;张丰涛;姜德生;;非接触磁耦合光纤光栅位移传感器[J];纳米技术与精密工程;2008年06期
3 冯斌;高芬;李金柱;;一种非接触型位移传感器的研究[J];传感器与微系统;2007年08期
4 田贵云,张凝;一种新型电涡流位移传感器的研制[J];传感技术学报;1996年02期
5 何和生,王百勤;大量程机电位移传感器[J];物理;1990年08期
6 张裕悝;黄平;;差压变送器稳定性研究[J];机械与电子;1990年03期
7 戴克中;一种新型的LVDT位移传感器[J];传感器技术;1991年03期
8 肖绯雄;新型的激光位移传感器[J];传感器技术;1997年01期
9 王国璋;液位/位移传感器与玻璃温度计组合成的温度传感器[J];电子产品世界;1998年05期
10 江小霞,钟荣龙,卢长耿;磁致伸缩位移传感器的应用[J];传感器技术;2003年01期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 陈育荣;杨旭东;谢铁邦;;一种高精度非接触式位移传感器及其应用[A];2006年湖北省博士论坛——先进制造技术与制造装备论文集[C];2006年
2 张泽宇;刘长岭;;基于位移传感器的数据采集系统研究[A];第九届全国信息获取与处理学术会议论文集Ⅱ[C];2011年
3 李学金;张杰锋;王欣义;张榕城;;差动式光纤微弯传感器[A];第十届全国敏感元件与传感器学术会议论文集[C];2007年
4 牛福广;郭伟;夏杨;;棒材热锯推钢机液压系统改造[A];全国冶金自动化信息网2011年年会论文集[C];2011年
5 曾建华;卢普杰;窦松柏;张慧霞;;位移传感器自动化校准技术研究与应用[A];2010航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
6 姚玉婷;韩敏;;一种大量程直流位移传感器校准方法研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
7 曾建华;钟德辉;卢普杰;窦松柏;张慧霞;;位移传感器灵敏度不确定度评定方法研究[A];2011航空试验测试技术学术交流会论文集[C];2010年
8 张淑美;魏俊英;;小型霍尔位移传感器及多路变换器[A];中国工程物理研究院科技年报(1999)[C];1999年
9 徐小顺;张瑞建;;基于动态信号处理的煤粉浓度在线监测系统[A];冶金自动化信息网年会论文集[C];2004年
10 郭辉;周兴林;刘书桂;孙长库;郑义忠;;相邻孔壁和小盲孔测量系统的研究[A];首届信息获取与处理学术会议论文集[C];2003年
中国重要报纸全文数据库 前5条
1 成都 胥绍禹 摘译;高精度1μm位移传感器[N];电子报;2008年
2 本报实习记者 吴艳;防劫防盗防遗失的自动遥控系统[N];中国知识产权报;2006年
3 ;数控机床误差补偿技术的应用[N];科技日报;2006年
4 朱荣威;传感器技术面临传统向新型突破[N];中国高新技术产业导报;2009年
5 苏州 吴康;新型光纤点式测温仪特征与应用[N];电子报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 谭为民;差线栅位移传感器原理与参数设计准则及其实验研究[D];重庆大学;2004年
2 冯平;智能位移传感器系统的研究[D];浙江大学;2001年
3 楼俊;变间距光栅设计、制作及其在位移传感器中的应用研究[D];中国科学技术大学;2006年
4 杨伟;时栅的波动方程分析与行波形成新方法的研究与实验[D];重庆大学;2006年
5 马玉真;旋转叶片叶尖间隙测量的关键技术研究[D];天津大学;2007年
6 唐武生;基于机器视觉技术测量平面参数[D];吉林大学;2009年
7 杨练根;基于微恒力位移传感器的表面形貌测量系统和二维Motif评定方法[D];华中科技大学;2004年
8 李文煜;非接触气动光学测量方法及实验研究[D];国防科学技术大学;2005年
9 张兴红;时空坐标转换理论及场式时栅位移传感器实验研究[D];重庆大学;2003年
10 王婷;微靶装配在线监测系统关键技术研究[D];天津大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘炎;几种工程化光纤光栅传感器的研制及其工程应用研究[D];哈尔滨工业大学;2006年
2 仇亚萍;位移传感器专家设计系统[D];西安电子科技大学;2008年
3 何章宏;双光栅干涉位移传感器及其电路系统研究[D];华中科技大学;2011年
4 武芃樾;光谱共焦位移传感器设计技术研究[D];中国工程物理研究院;2012年
5 许瑞;轴角位移传感器智能化系统的研究[D];沈阳理工大学;2011年
6 赵昊;微测位移传感器在轮毂跳动量中的应用[D];长春理工大学;2010年
7 李延军;基于图像处理的材积非接触测量系统[D];昆明理工大学;2004年
8 胡超;典型位移传感器的通用接口系统研究与设计[D];重庆理工大学;2011年
9 娄莉娜;基于MEMS技术的三相栅式位移传感器关键技术的研究[D];重庆理工大学;2011年
10 武亮;变耦合系数时栅位移传感器研究[D];重庆理工大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026