收藏本站
《湖北省激光学会论文集》2000年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究

汪洪海  郑启光  丘军林  熊贵光  田德成  
【摘要】:激光熔蚀反应淀积于Si(100),Si(111)基底上的AlN薄膜是高质量高取向性的AlN多晶膜,薄膜与基底的取向关系为AlN(100)∥Si(100),AlN(110)∥Si(111)。薄膜具有较低的残余应力和较好的热稳定性。实验结果表明,当氮气压强和放电电压分别为100×133.33Pa和650V时,薄膜的残余应力低于3GPa。此样品在纯氧环境500℃时,经过3h的退火,红外吸收谱检测未发现有Al_2O_3特征峰出现。对AlN/Cu双层膜的研究表明所制备的AlN薄膜在金属薄膜的防护上也有潜在的应用价值。

手机知网App
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 周佐平,章小民,李文江;立方晶体弹光性的研究[J];红外与毫米波学报;1984年04期
2 张会臣;Ni-P-Si_3N_4复合镀层中P含量对残余应力和磨损性能的影响[J];机械科学与技术;1996年01期
3 蒋昱;吴振宇;苏祥林;汪家友;杨银堂;;氟化非晶碳薄膜结构与热稳定性研究[J];电子器件;2006年02期
4 董立闽;郭霞;渠红伟;邹德恕;廉鹏;邓军;沈光地;;AlGaAs湿法氧化的热稳定性研究[J];激光与红外;2006年09期
5 闫建成;何智兵;阳志林;陈志梅;唐永建;韦建军;;玻璃微球表面辉光等离子体聚合物涂层的热稳定性研究[J];物理学报;2010年11期
6 张以忱;;第十七讲 薄膜与表面技术基础[J];真空;2011年04期
7 李建华;林建明;魏永聪;朱国清;许承晃;;碱卤晶体色心的形成及热稳定性[J];华侨大学学报(自然科学版);1984年01期
8 张酣,赵勇,刘双怀,何振辉,陈祖耀,钱逸泰,张其瑞;YBa_2Cu_(3-x)Zn_xO_(7-y)体系的超导电性和热稳定性[J];低温物理学报;1989年04期
9 冯玉清,侯利娜,朱涛,姚淑德,詹文山;具有纳米氧化层的磁性隧道结的热稳定性研究[J];物理学报;2005年09期
10 戚玉敏,崔春翔,申玉田,刘双进,袁学敏;钛酸钾晶须的高温热稳定性[J];硅酸盐学报;2005年10期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 汪洪海;郑启光;丘军林;熊贵光;田德成;;激光熔蚀反应淀积AlN薄膜残余应力及热稳定性的研究[A];湖北省激光学会论文集[C];2000年
2 刘波;杨吉军;汪渊;徐可为;;等离子体表面改性提高Cu/SiC:H/SiOC:H多层膜系界面结合强度和热稳定性研究[A];第十四届全国核物理大会暨第十届会员代表大会论文集[C];2010年
3 张广安;吴志国;范晓彦;闫鹏勋;;直流磁控溅射制备Cu3N薄膜及其热稳定的影响[A];第十六届全国半导体物理学术会议论文摘要集[C];2007年
4 唐开勇;崔辉;毛用泽;;杂质在LiF:Mg,Cu,P中的作用[A];全国第六届核仪器及其应用学术会议论文集[C];2007年
5 王庆华;谢惠民;冯雪;戴福隆;;膜基结构通电作用下的力学行为分析[A];中国力学学会学术大会'2009论文摘要集[C];2009年
6 张维萍;韩秀文;刘秀梅;包信和;郭新闻;王祥生;;纳米HZSM-5分子筛热稳定性的固体核磁研究[A];第十一届全国波谱学学术会议论文摘要集[C];2000年
7 申颖;庄卫东;罗新宇;刘元红;何华强;;氮化物红色荧光粉的温度特性及劣化机理研究[A];第十二届全国LED产业研讨与学术会议论文集[C];2010年
8 胡作启;;复合CrCO-Ti保护薄膜的热稳定性研究[A];陶瓷——金属封接与真空开关管用管壳技术进步专辑[C];2007年
9 张晓青;黄金峰;王飞鹏;夏钟福;;人工微结构氟聚合物压电功能膜的制备和表征[A];第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会摘要集[C];2006年
10 周芳;戴守愚;方炎;;荧光多晶材料Y_2O_3:Eu液氨温区的Raman谱分析[A];第十四届全国光散射学术会议论文摘要集[C];2007年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 汤晨毅;REBCO液相外延中的微结构控制以及薄膜热稳定性的研究[D];上海交通大学;2009年
2 邱勋林;PP孔洞膜和PEN非孔洞膜的驻极体性质[D];同济大学;2006年
3 厉彦忠;超导线及其多孔涂层在超流液氦内的传热性能[D];西安交通大学;1995年
4 梁兴勃;硅基纳米金刚石膜生长及其发光器件[D];浙江大学;2008年
5 邸玉贤;多孔硅力学性能的光力学方法与数值模拟研究[D];天津大学;2007年
6 黄烽;新型功能光学薄膜的磁控溅工艺及物性研究[D];中国科学技术大学;2009年
7 车志刚;微尺度激光冲击强化金属靶材数值模拟与实验研究[D];华中科技大学;2009年
8 辛煜;微波ECRCVD制备a-C:F:H薄膜的结构与性能研究[D];苏州大学;2002年
9 周益军;基于激光热应力的金属薄板无模成形的基础研究[D];江苏大学;2007年
10 熊杰;YBCO高温超导带材的制备和实用化研究[D];电子科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 向鹏;13nm Mo/Si多层膜残余应力研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2004年
2 张云芳;PECVD法制备a-C:F:N薄膜的结构和稳定性研究[D];中南大学;2005年
3 朱庭良;疏水性SiO_2气凝胶与Cu掺杂SiO_2复合气凝胶的制备及其性能研究[D];陕西师范大学;2009年
4 陈庆永;NiFe/PtMn系统中交换偏置现象的研究[D];首都师范大学;2006年
5 田维;Ti/Al和Ti/SiO_2/Al/SiO_2软X射线光学多层膜的结构与热稳定性研究[D];天津大学;2008年
6 张彤;自支撑硼掺杂金刚石膜生长及其硼分布、应力的研究[D];吉林大学;2009年
7 金华;通过XPS对Hf为主要成分的High-k物质的热稳定性研究[D];延边大学;2003年
8 杨文华;Nd-R-Fe-Al(R=Dy,La or Y)大块非晶合金的磁学性能的研究[D];吉林大学;2006年
9 李岩;种子层和反铁磁层厚度对NiFe/PtMn双层膜交换偏置的形成及热稳定性的影响[D];首都师范大学;2006年
10 吕晶;大气环境下Ag薄膜热稳定性及其改善的研究[D];福建师范大学;2008年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026