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《北京光学学会第五次会员代表大会会议摘要集》2002年
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激光物理气相沉积术(二)

张魁武  
【摘要】:正 制备超导薄膜是超导微电子装置应用中的关键技术。脉冲激光沉积由于能精确控制从单一元素到多组合薄膜的化学计量,并能在单一工序中完成超导薄膜的沉积,使它成为高温超导薄膜广泛采用的制备方法。
【分类号】:TN24

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3 冯庆荣;;教学科研 相互促进——建设中的MgB_2超导材料研究平台[A];第六届全国高等学校物理实验教学研讨会论文集(下册)[C];2010年
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2 ;我国留美物理学家首创二硼化镁超导薄膜材料[N];中国有色金属报;2002年
3 本报记者 史文婕;宿彦京:腐蚀每年损失我国5000亿[N];北京科技报;2006年
4 本报记者 李凝曹丙利;中国科学家在MgB_(2)薄膜研究领域取得重要成果[N];科技日报;2008年
5 北京大学 郭建栋 徐晓林;“九五”我们回国创业[N];人民日报海外版;2000年
6 记者 冯绍健;有研总院研制成功大面积双面超导薄膜[N];中国有色金属报;2001年
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8 北京有色金属研究总院供;超导材料走在希望的田野上[N];中国有色金属报;2002年
9 记者 贾西平;两英寸双面超导薄膜问世[N];人民日报;2001年
10 王诚;旅美学者时东陆博士超导研究发现新薄膜[N];人民日报海外版;2002年
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