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《广西光学学会2002年学术年会论文集》2002年
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一种MEMS光开关的原理及设计

王丹  彭小峰  
【摘要】:本文描述了MEMS光开关的原理和性能优点,并分别对二维和三维MEMS光开关的实现原理及特点进行了详细说明。描述了一种二维MEMS光开关的设计,分析了各种因素对器件性能的影响。
【作者单位】:桂林激光通信研究所 桂林激光通信研究所
【分类号】:TN929.11

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