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《2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集》 2005年
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光学镀膜的AB监控法

王华清  卢维强  薛唯  喻志农  
【摘要】:在薄膜产品的制造过程中,对每层膜的厚度监控是非常重要的。不同的监控方法将会产生不同的控制精度。AB法是一种比较先进的监控方法,通过变换监控片和移动监控波长,把每层膜的镀制停点选择在灵敏位置。AB法在一定程度上可以截断误差的传递和累积,同时通过镀制过程中实时修正镀制停点来减少各种因素对折射率的影响。

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