收藏本站
《2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集》2005年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

光学镀膜的AB监控法

王华清  卢维强  薛唯  喻志农  
【摘要】:在薄膜产品的制造过程中,对每层膜的厚度监控是非常重要的。不同的监控方法将会产生不同的控制精度。AB法是一种比较先进的监控方法,通过变换监控片和移动监控波长,把每层膜的镀制停点选择在灵敏位置。AB法在一定程度上可以截断误差的传递和累积,同时通过镀制过程中实时修正镀制停点来减少各种因素对折射率的影响。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 张诚,卢维强,王涌天,郝群;光学薄膜在线宽光谱膜厚控制仪[J];仪器仪表学报;2003年S1期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 孙艳,赵宏,王昭;光纤测厚中光谱“双峰”现象的分析[J];半导体光电;2005年04期
2 谭满清,林永昌,周建;窄带高反膜的研究[J];北京理工大学学报;1996年04期
3 侯来广,王慧,曾令可;陶瓷材料传统的表面改性技术[J];山东陶瓷;2004年03期
4 郭新,袁润章;化学气相淀积在无机新材料制备中的应用[J];材料科学与工程;1994年01期
5 朱瑾,张云洞,熊胜明,尚佳江;车削铝镜红外高反射膜镀制[J];光电工程;2004年05期
6 刘鹏,刘玉玲,贺银波,余飞鸿;自适应模拟退火结合共轭梯度法求解薄膜厚度[J];光电工程;2005年06期
7 赵强,范正修,刘立明,范瑞瑛,黄日成;影响1.06μm光学薄膜激光损伤因素的实验研究[J];光电子技术;1996年01期
8 樊先平,郝霄鹏,姚华文,王民权;TiO_2-SiO_2系统凝胶玻璃薄膜折射率的研究[J];功能材料;2002年02期
9 张公正,周名华,蔡建强,陈俊南;改性聚乙烯醇偏光膜的制备及性能研究[J];功能材料;1995年01期
10 张大伟,张东平,邵建达,王英剑,范正修,范瑞瑛;离子束清洗在激光薄膜中的应用[J];光学技术;2005年02期
中国重要会议论文全文数据库 前2条
1 毕军;易葵;于洪文;;电子束蒸发镀膜膜厚均匀性研究[A];上海市激光学会2005年学术年会论文集[C];2005年
2 任秀娟;曹雪峰;;关于蓝宝石减反膜的研究[A];2006年全国光电技术学术交流会会议文集(B 光学系统设计与制造技术专题)[C];2006年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 曲炳郡;TiNi形状记忆合金薄膜制备工艺及其单元互联微执行器研究[D];大连理工大学;2002年
2 王学华;TiO_2薄膜的结构、特性及生长模式的研究[D];武汉理工大学;2003年
3 司磊;低压反应离子镀设备关键技术研究[D];中国人民解放军国防科学技术大学;2000年
4 马德伟;带隙可调的Zn_(1-x)Cd_xO合金半导体薄膜的研究[D];浙江大学;2003年
5 张冬仙;原子力显微术的新方法研究及新型原子力显微镜系统研制[D];浙江大学;2004年
6 韦珏;平面光波导表征技术及离子交换玻璃波导的制备[D];吉林大学;2004年
7 赵青南;溅射法玻璃基TiO_2膜、TiO_2/TiN/TiO_2复合膜制备及其结构和性能表征[D];武汉理工大学;2004年
8 诸葛飞;Al-N共掺法生长p型ZnO及ZnO同质p-n结的制备[D];浙江大学;2005年
9 曾其勇;化爆材料动态切削温度的薄膜热电偶测量原理及传感器研制[D];大连理工大学;2005年
10 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 张红瑞;DMH波导的制作及其特性研究[D];郑州大学;2000年
2 赵元安;激光偏振膜稳定性研究[D];四川大学;2001年
3 史金涛;溶胶凝胶法Sb掺杂SnO_2薄膜的制备、性能及新型节能镀膜玻璃的研究[D];浙江大学;2002年
4 杨毓铭;波分复用薄膜滤光片的容差及温度稳定性能分析[D];浙江大学;2003年
5 孙宏波;基于光谱干涉理论的光学介质特性测量技术研究[D];浙江大学;2003年
6 叶光;用于场致发射显示的MIM型电子发射结构的研制[D];福州大学;2003年
7 赖云锋;利用磁控溅射仪制作平面薄膜型H_2S硅微传感器[D];福州大学;2003年
8 赵利;电子束蒸发制备TiO_2薄膜及光学性能的研究[D];武汉理工大学;2003年
9 张悦苏;980nm高功率半导体激光器[D];长春理工大学;2002年
10 陈汉鸿;ZnO薄膜和ZnO紫外探测器[D];浙江大学;2002年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王孝东;张锦龙;马彬;焦宏飞;丁涛;程鑫彬;;高损伤阈值三倍频分离膜[J];强激光与粒子束;2011年07期
2 郝殿中;韩培高;宋连科;;衬底温度对电子束沉积LaF_3薄膜表面形貌的影响[J];曲阜师范大学学报(自然科学版);2011年03期
3 谢平;李斌;刘定权;张素英;;电子束蒸发沉积碲锗铅薄膜的微结构和化学组分研究[J];光学仪器;2010年06期
4 张锋;郝殿中;;基板温度对电子束沉积LaF_3薄膜紫外性能的影响[J];聊城大学学报(自然科学版);2011年01期
5 薛锦;王平秋;刘琼;代礼密;;掺杂Gd_2O_3对ZrO_2薄膜负非均匀性的影响[J];光学仪器;2009年06期
6 高鹏;阴晓俊;胡雯雯;赵帅锋;王瑞生;于振毅;徐秋玲;费书国;;《光学和光学仪器-光学薄膜》新国标的制定[J];光机电信息;2011年09期
7 单永光;刘晓凤;贺洪波;范正修;;光学薄膜中节瘤缺陷研究进展[J];强激光与粒子束;2011年06期
8 朱铄金;朱丽慧;黄清伟;;6.5~14μm红外长波通滤光片正面膜系的研制[J];光学仪器;2009年03期
9 侯艳超;黄剑锋;周璇;曹丽云;吴建鹏;;n(Sm~(3+))/n(S_2O_3~(2-))对液相自组装法制备Sm_2S_3薄膜的影响[J];人工晶体学报;2011年04期
10 鄢秋荣;黄伟;张云洞;;周期性渐变折射率光学薄膜的设计及光谱特性分析[J];光学仪器;2009年05期
中国重要会议论文全文数据库 前5条
1 王乐;屠于梦;;液晶投影显示中光学薄膜的应用研究[A];中国兵工学会2010年光学与光电技术交流会论文集[C];2010年
2 饶凤翔;黄长春;焦涛涛;徐光科;卢卫平;;窄带反射膜的设计与制备[A];中国兵工学会2010年光学与光电技术交流会论文集[C];2010年
3 杨雪;程勇;郭延龙;王会升;王淑云;朱孟真;米朝伟;;脉冲激光沉积大面积均匀类金刚石膜新技术研究[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
4 钱大憨;贾嘉;汤亦聃;乔辉;李向阳;;基于正交试验的双离子束溅射沉积系统参数优化设计[A];第九届全国光电技术学术交流会论文集(下册)[C];2010年
5 郭延龙;王淑云;杨雪;朱孟真;程勇;王会升;;掺硅类金刚石膜的研究进展[A];2009年先进光学技术及其应用研讨会论文集(上册)[C];2009年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 本报记者 马守贵;你还记得乐凯吗[N];中国化工报;2011年
2 万军;光学薄膜与材料领域的领军人[N];中国企业报;2011年
3 常建龙 王婧 郝晓丽;徐耀:光学薄膜领域的探索者[N];科技日报;2011年
4 证券时报记者 李小平;康得新有望替代三星供货京东方[N];证券时报;2011年
5 本报记者 赵芮 孙晓青 李湘虹;他从“千人计划”中脱颖而出[N];人民日报海外版;2009年
6 DisplayBank;光学薄膜核心专利日本企业的申请数位居前列 FUJI FILM偏光板用核心专利名列各企业之首[N];电子资讯时报;2007年
7 记者 郭瑞坤 张小明;ST天龙子公司光学薄膜项目开工[N];上海证券报;2011年
8 荣超;中光学欲“影”响世界[N];人民邮电;2010年
9 余卫华;富士胶片计划增产液晶用光学薄膜三成[N];电子资讯时报;2008年
10 本报记者 郑惠华;中国乐凯 “变身”光学薄膜制造商[N];河北经济日报;2011年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 白胜元;光学薄膜设计及其在光波分复用系统中的应用[D];浙江大学;2001年
2 薛晖;光学薄膜光学特性检测中若干关键问题的研究[D];浙江大学;2009年
3 韩军;光学膜厚宽带监控关键技术研究[D];西安电子科技大学;2011年
4 李再金;半导体激光器腔面光学膜关键技术研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2010年
5 沈伟东;基于MOEMS技术的光学调制器研究[D];浙江大学;2006年
6 史金辉;消偏振分光镜的设计与特性分析[D];哈尔滨工程大学;2007年
7 王成;介质薄膜膜基体系力学光学特性研究[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 陈海星;波分复用系统中基于法布里—珀罗腔的光学薄膜滤波器研究[D];浙江大学;2005年
9 黄伟;中远红外激光薄膜技术研究[D];四川大学;2005年
10 孙雪铮;光学薄膜中超棱镜效应的研究[D];浙江大学;2008年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 刘鹏程;光热偏转法评价光学薄膜的激光损伤[D];浙江大学;2003年
2 张淑娜;光学薄膜相位特性测试的研究[D];浙江大学;2011年
3 史金辉;消偏振分光棱镜膜系分析与设计[D];哈尔滨工程大学;2005年
4 宋玲玲;光学薄膜优化设计的实现[D];合肥工业大学;2006年
5 林宇翔;光学薄膜厚度实时监控系统及其反演的研究[D];浙江大学;2004年
6 鞠兵;高精度数字式光学膜厚监控系统的研制[D];四川大学;2005年
7 冯君刚;反可见、中红外透10.6μm高能激光分色镜的研制[D];中国科学院研究生院(长春光学精密机械与物理研究所);2005年
8 林琦;高能激光与光学介质薄膜作用机理的研究[D];长春理工大学;2010年
9 黄昱勇;光学薄膜在投影显示和光开关中的应用[D];浙江大学;2002年
10 邓洪祥;高功率激光作用下光学薄膜的场损伤研究[D];电子科技大学;2007年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026