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《2004全国光学与光电子学学术研讨会、2005全国光学与光电子学学术研讨会、广西光学学会成立20周年年会论文集》2005年
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磁控溅射ZAO透明导电薄膜靶材及薄膜制备技术

肖华  王华  任鸣放  陈国华  
【摘要】:综述了磁控溅射ZAO透明导电薄膜及其靶材的发展现况和趋势。在详细介绍透明导电薄膜的基本性能及其存在问题的基础上,重点阐述了ZAO薄膜的结构、电学和光学特性及应用,并针对靶材的制备和利用磁控溅射技术制备ZAO透明导电薄膜过程中存在的问题及发展方向进行了分析。

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【参考文献】
中国期刊全文数据库 前8条
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