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激光方法探究

张贵军  
【摘要】:正半导体激光芯片是半导体激光器最关键部件,半导体激光芯片测量系统是半导体激光芯片专用测量设备,用于芯片封装前的在片检测。由于该设备结构精密,组成复杂,必须采用特殊的计量校准方法,才能实现有效的整体校准。半导体激光芯片测量系统是集脉冲电源、光谱仪、激光功率计等多种仪器设备功能的综合测量系统,其基本原理是在测试平台上用专用的测试夹具,给未封装的裸芯片加偏置,输出的激光信号通过积分球、激光功率计和光谱仪,测量功率和光谱,从而避免封装引入的影响,降低成本,提高效率,能够更加客观的评价激光芯片的性能,并且有利于大规模批量生产。其中激光功率参数是需要计量校准

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