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空间像噪声拟合及滤波分析方法

徐东波  王向朝  步扬  闫观勇  杨济硕  
【摘要】:正投影物镜系统是投影光刻机中最重要的分系统之一。随着特征尺寸的不断减小,投影物镜波像差对光刻成像质量的影响越来越显著。段等提出了一种基于空间像主成分分析的光刻机投影物镜波像差原位检测(AMAI-PCA)技术[1]。该技术通过对空间像集合进行主成分分析,将波像差引起的空间像光强分布变化分解为一系列相互正交的主成分及对应的主成分系数。通过主成分系数和泽尼克系数之间进行线性回归,建立了一种空间像和泽尼克系数之间的线性模型。AMAI-PCA技术利用了整幅空间像的光强分布特征信息,有

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