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用曲面计算全息补偿器检测非球面的方法研究

王彦钦  张旭升  沙定国  
【摘要】:正在非球面的各种检测方法中,基于干涉测量的零检测补偿法由于其快捷的检测过程、较高的测量精度,成为非球面常用的检验手段。本文提出一种结合曲面计算全息图和商业菲索干涉仪实现一般非球面检测的新方法。其光路结构如图1所示。该方法利用刻蚀在标准透镜参考面上的计算全息图,将球面波前转换为非球面波前,使得测试光处处垂直入射

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