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基于空间光调制器的灰度掩模制作环形光栅

鲁开源  何兴道  
【摘要】:正自从Dyson研究了环形和螺旋形光栅的菲涅耳衍射以来,环形光栅已引起人们的极大关注。环形光栅由于其独特的光谱结构,在近30年得到极大的发展,制作工艺与方法逐渐多样化。20世纪80年代中期提出的基于光波衍射理论,利用计算机辅助设计,并用超大规模集成(VLSI)电路制作工艺的二元光学,因其在实现光波变换上所具有的许多卓越的、传统光学

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