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《第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第6分册)》2010年
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掺铝氧化锌粉末及其陶瓷靶的制备与性能分析

张静  张维佳  赵而敬  沈燕龙  杨东杰  林军  Havugimana Jean Jacques  
【摘要】:以硝酸、高纯锌、硝酸铝、尿素为原料,采用均匀沉淀法制备掺铝氧化锌(AZO)粉末,借助769YP-24B型压片机预制AZO陶瓷靶坯体,经常压高温烧结成高致密度、高导电性的AZO陶瓷靶。运用XRD、SEM、电阻率仪等测试手段对制得的AZO粉末和AZO陶瓷靶的形貌结构及电学等性能进行表征。研究结果表明,AZO粉末晶粒大小均匀,平均粒径大小为60nm,AZO靶材的电阻率为2.14×10~(-3)Ω·cm,相对密度达到98.61%。

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【参考文献】
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【共引文献】
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中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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3 穆慧慧;铝掺杂量对氧化锌薄膜光电性能的影响[D];郑州大学;2010年
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