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《第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第4分册)》2010年
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100keV质子辐照ITO薄膜微观机制与光学性能的研究

魏强  刘圣贤  王丹  刘海  
【摘要】:采用溶胶-凝胶法在JGS1石英玻璃基上制备了透明ITO薄膜。在模拟空间真空热环境下,分别采用原子力显微镜(AFM)、X光衍射仪(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)及分光光度计研究了100keV质子辐照对透明ITO薄膜的微观机制与光学性能的影响。实验结果表明,质子辐照作用使ITO薄膜晶粒尺寸和粗糙度减小,表面基本成分及价态没有发生改变,所引起ITO薄膜光学透过率降低程度也不十分明显。本文工作有助于空间辐射环境下ITO薄膜性能演化规律的研究。

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