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膜厚对亚波长铝光栅红外反射率的影响

卓丽霞  唐武  戴瑶  翁小龙  邓龙江  
【摘要】:利用CST软件对不同薄膜厚度的亚波长铝光栅红外反射率进行仿真,仿真结果显示薄膜厚度在小范围内变化时并不影响反射率曲线整体形状,只会使反射率曲线在整体上平移。当膜厚大于某特定值时,TM波反射率曲线出现波谷,且谷底位置随着厚度的增加向长波方向移动。利用表面等离极化激元理论和Fabry-Perot腔理论分析膜厚对光栅性质的影响,结论与仿真结果一致。采用直流磁控溅射和湿法刻蚀技术在玻璃基片上制作了不同薄膜厚度的铝光栅样品,其红外反射率测试曲线也证实了CST仿真结果。

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