收藏本站
《第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)》2010年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析

马晓波  钟景明  孙本双  陈焕铭  王东新  
【摘要】:对高端薄膜所用高密度ITO靶材的主要成形、烧结工艺如等静压成形、粉浆浇注成形、热压成形、爆炸压实成形进行了阐述。分析了其各自的成形原理、优缺点及发展现状。并指出了现阶段ITO靶材所面临的技术难题:结瘤现象严重、最佳掺杂量和第二相问题。明确了ITO靶材未来发展趋势。

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前5条
1 李晓杰,张越举;爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究[J];稀有金属材料与工程;2005年03期
2 张树高,扈百直,吴义成,方勋华,黄伯云;铟锡氧化物陶瓷靶材热等静压致密化研究[J];功能材料;2000年04期
3 李晓杰;张越举;阎鸿浩;陈涛;;纳米ITO粉末爆炸压实及后续烧结工艺研究[J];材料科学与工艺;2006年02期
4 李晶,陈世柱,李芝华;冷等静压-烧结法制备ITO磁控溅射靶材的工艺研究[J];稀有金属与硬质合金;2003年04期
5 李晓杰;多孔材料冲击绝热线的近似计算[J];高压物理学报;1991年04期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
2 张亚萍;殷海荣;黄剑锋;李启甲;;透明导电薄膜的研究进展[J];光机电信息;2006年02期
3 马颖,张方辉,牟强;ITO膜透明导电玻璃的特性、制备和应用[J];陕西科技大学学报;2003年01期
4 吴丽君;发展中的溅射靶材[J];真空科学与技术学报;2001年04期
5 程继贵,夏永红,王华林,徐卫兵;聚苯乙烯/铜粉温压成型的研究[J];工程塑料应用;2000年06期
6 彭茂公,亢若谷,王云坤,张家敏,刘珂呈;高强高导弥散强化铜材料可锻性研究[J];兵器材料科学与工程;2003年01期
7 林芸;张文兴;柴东朗;齐志望;史洪刚;;储存能对纯金属粉末烧结过程的影响[J];兵器材料科学与工程;2006年04期
8 王海福,冯顺山;多孔材料中冲击波衰减特性的实验研究[J];北京理工大学学报;1997年01期
9 赵麦群,于喜良,张卫华,赵高扬;应用于SMT的无铅焊锡微粉制备方法研究展望[J];材料导报;2003年12期
10 程继贵,夏永红,王华林;纳米Fe-Cu粉末的制备及其对铁基压坯烧结行为的影响[J];材料科学与工艺;2001年01期
中国重要会议论文全文数据库 前8条
1 丁照崇;张维佳;金飞;闫兰琴;张心强;武美伶;贾士亮;王天民;;掺NbITO膜的光电性能研究[A];2006年材料科学与工程新进展——“2006北京国际材料周”论文集[C];2006年
2 戴建雄;熊德明;;(U,Gd) O_2芯块磨削渣回收利用技术研究[A];中国核学会核材料分会2007年度学术交流会论文集[C];2007年
3 贺朝君;汪维金;刘晓明;杨宁;朱玉斌;;钨铜合金薄板坯烧结行为研究[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)[C];2007年
4 肖长江;靳常青;王晓慧;;超高压辅助烧结纳米陶瓷[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(6)[C];2007年
5 姜艳;谢刚;李荣兴;;电解工艺对电解镍粉阴极电流效率的影响[A];2006年全国冶金物理化学学术会议论文集[C];2006年
6 王勇;高新睿;于庆华;王介强;;多晶钇铁石榴石(YIG)磁光材料的制备研究[A];国际材料科学与工程学术研讨会论文集(上册)[C];2005年
7 栾大凯;韩建民;李荣华;杨喜福;迟洪斌;贾晓雷;王金华;;高速列车铜基粉末冶金闸片材料力学性能研究[A];第十届全国青年材料科学技术研讨会论文集(C辑)[C];2005年
8 李周;张国庆;张翼飞;袁华;姚瑞平;徐石斌;田世藩;;氩气雾化高温合金粉末的制备及其组织与性能[A];第十届全国青年材料科学技术研讨会论文集(C辑)[C];2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 王海燕;硅基太阳能电池陷光材料及陷光结构的研究[D];郑州大学;2005年
2 孙彦峰;ZnO:Al透明导电薄膜与ZnO器件的制备及性质的研究[D];吉林大学;2007年
3 戴江南;ZnO薄膜的常压MOCVD生长及掺杂研究[D];南昌大学;2007年
4 刘维峰;ZnO:Al透明导电薄膜和ZnO发光器件的制备及特性研究[D];大连理工大学;2007年
5 张歆东;基于聚合物液晶材料的可变光衰减器的研究[D];吉林大学;2007年
6 马全宝;透明的高导电近红外反射ZnO:Ga薄膜的制备及特性研究[D];浙江大学;2007年
7 吴彦春;电磁压制设备研制及其在功能陶瓷制备中的应用研究[D];武汉理工大学;2007年
8 吴芳;碳化硼陶瓷及其摩擦学研究[D];中南大学;2001年
9 崔晓龙;机械合金化过程中激活作用及纳米TiC合成的研究[D];大连理工大学;2002年
10 杜忠华;动能弹侵彻陶瓷复合装甲机理[D];南京理工大学;2002年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 董建华;透明导电In_2O_3:Sn和ZnO:Al薄膜的制备及其特性研究[D];重庆大学;2002年
2 王树林;ITO薄膜的制备及性能研究[D];武汉理工大学;2004年
3 张贤高;ITO纳米粉的低温制备[D];华中师范大学;2004年
4 苏伟涛;射频溅射制备ZnO:Al透明导电薄膜及性能研究[D];中南大学;2004年
5 葛春桥;溶胶—凝胶法制备AZO透明导电薄膜的研究[D];武汉理工大学;2005年
6 赵秀玲;磷铝吸杂及HIT晶硅太阳电池高转换效率机理研究[D];河北工业大学;2005年
7 张文治;溶胶-凝胶法制备无机基质/稀土 有机杂化发光材料[D];福建师范大学;2005年
8 徐艺滨;ZnO:Al薄膜的制备与特性研究[D];大连理工大学;2006年
9 李丽;Al掺杂ZnO薄膜的制备与光电性质研究[D];重庆大学;2006年
10 职利;ITO薄膜的水热法制备与性能研究[D];桂林电子科技大学;2006年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 杨刚,黎俊初,罗军明,闵嗣林,陈同彩;无压及热压烧结法制备Ce-TZP/Al_2O_3复相陶瓷材料[J];兵器材料科学与工程;2004年03期
2 徐美君;ITO透明导电膜玻璃生产及应用[J];玻璃与搪瓷;2001年02期
3 王敏,蒙继龙;透明导电氧化物薄膜的研究进展[J];表面技术;2003年01期
4 李晓杰,张越举,王金相,李瑞勇,赵铮;ITO纳米粉末爆炸压实烧结致密化陶瓷靶材研究[J];材料科学与工程学报;2004年01期
5 董明;粉末材料的爆炸烧结[J];材料开发与应用;1995年03期
6 张维佳,王天民,糜碧,洪轲;纳米ITO粉末及高密度ITO靶制备工艺的研究现状[J];稀有金属材料与工程;2004年05期
7 李晓杰,张越举;爆炸压实烧结ITO陶瓷靶材的实验研究[J];稀有金属材料与工程;2005年03期
8 张维佳,王天民,吴小文,钟立志,崔敏;纳米ITO粉末制备工艺优化设计[J];稀有金属材料与工程;2005年09期
9 龙涛,朱德贵,王良辉;高导电性ZAO陶瓷靶材及薄膜的制备[J];电子元件与材料;2004年02期
10 孟扬,林剑,刘键,沈杰,蒋益明,杨锡良,章壮健;复合效应对掺杂氧化物透明导电薄膜的影响[J];光电子技术;2001年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 陈雷明;张燕;杜银霄;李广成;郭艳峰;;脉冲电子束系统沉积高温超导薄膜研究[J];重庆科技学院学报(自然科学版);2010年01期
2 孟怡敏;张珮珮;李静;;浅谈增强磁控镀膜靶材利用率[J];科技信息;2010年17期
3 王春奎,傅裕寿,李惠宁;强激光作用于靶材时冲量的测量方法[J];中国激光;1982年01期
4 张建泉,陈荣华,强希文,刘锋;激光产生的激波在靶材中的传播及层裂效应[J];中国激光;2002年03期
5 李喜波;唐永建;雷海乐;罗江山;王红艳;朱正和;杨向东;;银团簇纳米颗粒的制备及其光吸收谱性质[J];强激光与粒子束;2006年12期
6 关效贤,孙晶,张亮,刘景和,朱忠丽,黄宗坦,曾德群,黄江平;Φ100 mm YBCO高温超导材料及应用研究[J];中国稀土学报;2002年S1期
7 王泽敏,刘勇,戢明,曾晓雁;激光烧蚀铁丝法制备γ-Fe_2O_3纳米粉[J];中国激光;2004年09期
8 何军;章天金;江娟;张柏顺;潘瑞琨;马志军;王今朝;;Ba_(0.7)Sr_(0.3)TiO_3陶瓷靶材的制备工艺及电性能研究[J];湖北大学学报(自然科学版);2005年04期
9 李继承;陈小伟;;刚性弹侵彻不同靶材的侵彻深度比较[J];爆炸与冲击;2009年03期
10 朱归胜;徐华蕊;;高密度氧化铟锡(ITO)靶材的制备研究[J];云南大学学报(自然科学版);2007年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 马晓波;钟景明;孙本双;陈焕铭;王东新;;高密度ITO靶材的成形工艺及理论分析[A];第七届中国功能材料及其应用学术会议论文集(第2分册)[C];2010年
2 伍祥武;黄小珂;李玮隆;;ITO废靶材再生高纯氧化铟研制[A];有色金属工业低碳发展——全国有色金属工业低碳经济及冶炼废气减排学术研讨会论文集[C];2010年
3 邢朋飞;邢伟;王政红;张秀勤;薛建强;;ITO靶材的微观结构分析[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
4 杨军;彭虎;夏广斌;;微波烧结高密度ITO靶材[A];“第十四届全国微波能应用学术会议”暨“2009年微波创造美的生活高峰论坛”论文集[C];2009年
5 夏慧;韩雪;吴丽君;;靶材及其应用[A];中国有色金属学会第三届学术会议论文集——科学技术论文部分[C];1997年
6 夏慧;;薄膜与贵金属靶材[A];TFC’03全国薄膜技术学术研讨会论文摘要集[C];2003年
7 夏慧;;真空电子材料靶材的应用[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
8 牛丽;李金祥;尚鲜连;陈珂;;高等职业院校ITO人才培养方案分析及学习情境设计[A];2011高等职业教育电子信息类专业学术暨教学研讨会论文集[C];2011年
9 ;ITO靶体与背靶焊接技术研究[A];广东省材料研究学会部分单位会员成果汇编[C];2005年
10 吴星明;杨树威;徐春叶;;磷酸噻吩用于高分子电致变色器件中ITO的表面修饰[A];中国化学会第28届学术年会第11分会场摘要集[C];2012年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 长沙壹纳光电材料有限公司技术总监 陈明飞;ITO靶材企业应埋头向下精细创新[N];中国电子报;2011年
2 本报记者 诸玲珍;ITO靶材:资源优势明显 工艺研发取得突破[N];中国电子报;2009年
3 中色(宁夏)东方集团有限公司 张红梅 孙本双 刘孝宁;ITO靶材向大尺寸高密度方向发展[N];中国电子报;2009年
4 大连交通大学光电材料与器件研究所所长 柴卫平;打破技术壁垒 加快ITO靶材产业化进程[N];中国电子报;2009年
5 长沙壹纳光电材料有限责任公司技术总监 陈明飞;优化国家和企业资源配置 促进ITO靶材发展[N];中国电子报;2009年
6 本报记者 顾洪文;Itopsoft:“韩流”的中国路[N];计算机世界;2002年
7 ;控制成本是ITO企业发展关键[N];中国电子报;2009年
8 市报道组 龚宁 叶初江;第一块国产靶材在余姚下线[N];浙江日报;2005年
9 宁波江丰电子材料有限公司副总经理 王学泽;推动国内靶材产业链建设[N];中国电子报;2010年
10 杨晓婵;日公司开发出氧化锌系靶材[N];中国有色金属报;2005年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 陈曙光;铟锡氧化物(ITO)粉体及高性能ITO靶材的制备与研究[D];华中科技大学;2005年
2 赵辉;基于ITO微孔电极的SH-SY5Y细胞行为电化学分析研究[D];华东师范大学;2012年
3 李皓;心衰机理及hKv4.3基因表达调控研究[D];吉林大学;2006年
4 吴大刚;基于信息流控制的信息技术外包产业发展模式与战略研究[D];吉林大学;2007年
5 朱协彬;软化学法制备纳米ITO材料及其介孔组装体系研究[D];中南大学;2007年
6 李晓云;金属膜电阻器稳定性的研究[D];天津大学;2003年
7 徐慢;玻璃基太阳能电池薄膜材料制备及其结构和性能研究[D];武汉理工大学;2006年
8 张越举;爆炸压实烧结纳米陶瓷粉末研究[D];大连理工大学;2007年
9 任崇余;心脏神经重塑对心肌细胞瞬时外向钾电流的影响及其分子机制[D];中国协和医科大学;2006年
10 李莉;脉冲激光烧蚀及靶材光学性质的研究[D];华中科技大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 黄德馨;Y系高温超导材料的制备与性能表征[D];长春理工大学;2004年
2 袁振;微波烧结ITO靶材研究[D];中南大学;2011年
3 刘磊;溶胶—凝胶法制备掺铝氧化锌靶材研究[D];西华大学;2011年
4 王卫芳;靶材粘结和超声波检测技术在液晶镀膜中的应用[D];苏州大学;2011年
5 方雪冰;CPA型磁控溅射设备靶改进及磁场模拟分析研究[D];电子科技大学;2010年
6 赵志培;毫秒脉冲激光烧蚀下金属靶材温度场与热应力分析[D];天津大学;2012年
7 赵海娇;直流磁控溅射制备ITO薄膜及增透效果的研究[D];长春理工大学;2011年
8 葛亚爽;ITO薄膜的制备及优化设计[D];郑州大学;2011年
9 兰军;p型CuAlO_2多晶靶材及薄膜制备研究[D];昆明理工大学;2011年
10 门智新;磁控溅射法低温制备ITO透明导电薄膜工艺研究[D];中南民族大学;2011年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026