锆钒合金膜制备工艺研究

【摘要】：采用双电子枪蒸发法制备出锆钒二元合金膜,系统地研究了膜厚控制仪RatioControl参数、沉积温度和退火温度等关键参数对合金膜成分和物相的影响规律。研究结果表明,通过设定RatioControl参数可以任意调制合金膜中Zr、V元素比例,实现膜中成分的深度分布均匀;通过调整沉积温度,可以获得非晶或共晶等不同组织结构的膜物相;退火温度对合金膜物相有影响,但膜中非晶相仍处于主导地位,退火后的膜可以作为实际应用。

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中国期刊全文数据库

前20条

1	徐自强;邓宏;谢娟;李燕;陈航;祖小涛;薛书文;;退火对ZnO:Al薄膜光致发光性能的影响[J];强激光与粒子束;2006年01期
2	李荣花;;沉积和退火温度对多晶ZnO薄膜结构特性的影响[J];材料热处理学报;2006年06期
3	王爱华;张兵临;秦玉华;高知丰;周秋霞;姚宁;;微纳结构ZnO荧光薄膜的电沉积及其物理特性研究[J];材料导报;2008年10期
4	陈利;盛春英;张建明;;退火对聚乳酸/多壁碳纳米管复合材料拉伸性能的影响[J];青岛科技大学学报(自然科学版);2011年03期
5	钱丽英;朱春祥;李彩霞;贺博;刘庆华;郝绿原;殷士龙;;Al_(60)Fe_(20)Cu_(20)纳米材料的结构研究[J];河海大学学报(自然科学版);2006年02期
6	谌贵辉;张万里;彭斌;蒋洪川;杨国宁;;FeCoSiB薄膜应力阻抗性能的的影响因素及提高方法[J];真空;2006年03期
7	杨晓红;王新强;唐一科;马勇;;纳米WO_3薄膜的光学性质及氢敏特性研究[J];传感器与微系统;2006年11期
8	谢季佳;段桂花;武晓雷;洪友士;;电解沉积纳米镍退火析出相的EBSD分析[J];中国体视学与图像分析;2007年04期
9	郑群,陈云贵,王金国,陶明大,唐定骧,涂铭旌;退火处理对快淬贮氢合金显微组织及电化学性能的影响[J];中国稀土学报;2003年04期
10	周纯;张海燕;曹晓国;何艳阳;胡礼初;;直流碳弧法合成碳包铁纳米粒子的研究[J];炭素技术;2006年04期
11	纠智先;李强;孙金战;;退火处理对脉冲激光沉积制备ZnS薄膜的影响[J];武汉工业学院学报;2008年04期
12	李世鸿;张永平;李丽英;;Ni催化剂在N_2O/N_2/NH_3中退火对碳纳米管表面结构及场发射特性的影响(英文)[J];新型炭材料;2008年04期
13	吕旗;姜恩永;李金锷;;退火处理对FeZrBiSiB金属玻璃物理性能的影响[J];金属学报;1987年03期
14	郑金平;冯洁;;CoFe/Cu多层膜巨磁阻效应的研究[J];真空科学与技术学报;2007年02期
15	陈雯雯;吕珺;王建民;汤文明;刘君武;吴玉程;郑治祥;;退火处理对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜性能的影响[J];理化检验(物理分册);2007年02期
16	李厚德;颜尧妹;蒋达国;;树脂基磁性复合材料的品质因数研究[J];新技术新工艺;2007年11期
17	苑永涛;方敬忠;刘红;陈志强;;Cu/Zr纳米多层膜微结构与力学性能[J];光电工程;2008年10期
18	江政;杨成韬;霍伟荣;赵鹏;;PZT铁电薄膜底电极制备工艺的研究[J];分析测试技术与仪器;2010年02期
19	王勇;;TiO_2纳米线的制备与退火处理[J];安顺学院学报;2010年05期
20	楼均辉;林明通;陈国荣;杨云霞;肖田;陈晨曦;;沉积温度和退火处理对Ba_(0.5)Sr_(0.5)TiO_3介电性能的影响[J];材料导报;2006年S1期

中国重要会议论文全文数据库

前10条

1	郝万立;赵北君;刘锦华;彭述明;龙兴贵;;锆钒合金膜制备工艺研究[A];2009中国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2009年
2	巩运兰;王为;王惠;郭鹤桐;;铝基材的状态对纳米孔阵列结构氧化物膜板均匀性的影响[A];第五届全国表面工程学术会议论文集[C];2004年
3	陈立新;周赟;雷永泉;王新华;陈长聘;;稀土系贮氢合金RE(NiMnAl)_(4.2)Co_(0.8-x)Fe_x(x=0-0.8)的电化学性能[A];2005年中国固体科学与新材料学术研讨会专辑[C];2005年
4	黄文;孙小峰;蒋书文;张鹰;李言荣;;非晶SrTiO_3纳米薄膜退火处理方法的研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
5	张津;;CdIn_2O_4薄膜性质及其应用研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
6	陈艳平;帅茂兵;吉祥波;鲜晓斌;谢东华;;PC膜的退火处理与热氧老化[A];中国工程物理研究院科技年报(2008年版)[C];2009年
7	杨小飞;方亮;殷波;;退火处理对溶胶-凝胶法制备AZO薄膜性能的影响[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
8	潘华勇;徐晓琳;郭建栋;俞大鹏;;纳米YBCO颗粒的团聚的TEM研究[A];第十二届全国电子显微学会议论文集[C];2002年
9	王澈;钟涛兴;周美玲;;WC基钢结硬质合金再生研究[A];制造业与未来中国——2002年中国机械工程学会年会论文集[C];2002年
10	沈永行;叶林华;陈继勤;丁祖昌;;LN单晶光纤的品质研究[A];首届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];1992年

中国博士学位论文全文数据库

前10条

1	张晓康;立方氮化硼薄膜的相变和光、电性能研究[D];兰州大学;2009年
2	李静;ZnO微纳结构材料的实用制备方法研究[D];厦门大学;2009年
3	袁志钟;离子注入制备硅基发光材料及其性能研究[D];浙江大学;2007年
4	肖鹏;TiO_2纳米管制备及其电化学相关性质的研究[D];重庆大学;2008年
5	张波;高价金属元素掺杂透明导电ITO薄膜的研究[D];上海交通大学;2009年
6	成晓玲;N和Al共掺杂TiO_2薄膜的制备及性能研究[D];广东工业大学;2008年
7	宋崇富;氟负离子储存—发射功能材料及其在Si和SiO_2蚀刻中应用基础研究[D];中国科学技术大学;2008年
8	胡裕龙;氮掺杂纳米二氧化钛基可见光催化剂的制备及性能研究[D];华中科技大学;2010年
9	刘芙;碳管负载纳米颗粒及碳管/高分子复合材料的表征及应用[D];浙江大学;2008年
10	贾璐;非晶GaN薄膜的制备及性能和碳纳米管的LB排布[D];兰州大学;2009年

中国硕士学位论文全文数据库

前10条

1	胡小锋;离子辅助蒸发Ti_3O_5制备光学薄膜的研究[D];武汉理工大学;2006年
2	张中建;Ca-Co-O系材料的凝固组织与退火组织研究[D];西华大学;2008年
3	吴志华;退火处理对FeCoB-SiO_2磁性纳米膜电磁性能的影响[D];华中科技大学;2007年
4	张佳雯;镶嵌于介质膜中的锗纳米晶的制备及其特性研究[D];陕西师范大学;2009年
5	周丽萍;溶胶—凝胶法制备Al-F共掺杂的ZnO薄膜及其性能研究[D];合肥工业大学;2008年
6	杜敏生;新型吸波材料Nd_（8-X）YFe_（84.5+X）B_（6.5）（x=0，0.5，1）的制备及其性能研究[D];内蒙古大学;2008年
7	王冠峰;溶胶—凝胶自燃法制备Mn_xZn_（1-x）Cu_（0.2）Fe_（1.8）O_4纳米颗粒的结构和磁性[D];天津大学;2007年
8	孟红梅;蒸镀、磁控溅射铝和铝合金薄膜的组织与性能[D];天津大学;2007年
9	顾巍;非AB_5型La-Ni系贮氢合金的相结构与电化学性能[D];浙江大学;2002年
10	张苓;ZnS薄膜及粉体材料的制备与表征[D];西安理工大学;2006年

中国重要报纸全文数据库

前2条

1	徐卫东;东丽尼龙合金应用广泛[N];中国纺织报;2005年
2	冶炼;高储氢量的钛——钒基储氢合金[N];中国有色金属报;2005年

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