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锆钒合金膜制备工艺研究

郝万立  赵北君  刘锦华  彭述明  龙兴贵  
【摘要】:采用双电子枪蒸发法制备出锆钒二元合金膜,系统地研究了膜厚控制仪RatioControl参数、沉积温度和退火温度等关键参数对合金膜成分和物相的影响规律。研究结果表明,通过设定RatioControl参数可以任意调制合金膜中Zr、V元素比例,实现膜中成分的深度分布均匀;通过调整沉积温度,可以获得非晶或共晶等不同组织结构的膜物相;退火温度对合金膜物相有影响,但膜中非晶相仍处于主导地位,退火后的膜可以作为实际应用。

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