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调制周期对ZrB_2/BN纳米多层膜结构和性能的影响

金上校  曹猛  邓湘云  李德军  
【摘要】:利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB_2、BN和一系列ZrB_2/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明:多层膜具有周期性良好的调制结构,大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当调制周期为7.3nm时,多层膜硬度达到最高值(约27GPa)。该薄膜同时具有较好的疏水性,高的模量,低的表面粗糙度和摩擦系数。

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