调制周期对ZrB_2/BN纳米多层膜结构和性能的影响

【摘要】：利用高真空离子束溅射沉积系统在室温下制备了ZrB_2、BN和一系列ZrB_2/BN纳米多层膜,利用XRD、接触角测定仪、表面轮廓仪以及纳米力学测试系统等仪器分析了调制周期对薄膜的晶体结构和机械性能的影响。结果表明:多层膜具有周期性良好的调制结构,大部分多层膜的纳米硬度与弹性模量值都高于两种个体材料硬度的平均值,当调制周期为7.3nm时,多层膜硬度达到最高值(约27GPa)。该薄膜同时具有较好的疏水性,高的模量,低的表面粗糙度和摩擦系数。

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3	周亮,姚英学,SHAHJADA A P;纳米压痕硬度尺寸效应的残余面积最大压深模型[J];硅酸盐学报;2005年07期
4	陈平;胡立江;;用正硅酸乙酯改性的倍半硅氧烷膜压痕特性的研究[J];包装工程;2006年01期
5	杭建忠;施利毅;娄燕燕;钟庆东;张剑平;;纳米重晶石/环氧复合钢板涂层材料机械及耐腐蚀性能的研究[J];功能材料;2006年12期
6	赵瑞锋;刘忠侠;杨明生;张天清;余焕伟;任波;刘栓江;;Mg对原位合成TiB_2/Al-7Si复合材料的微观组织及力学性能的影响[J];特种铸造及有色合金;2008年S1期
7	赵瑞锋;刘忠侠;杨明生;张天清;余焕伟;任波;刘栓江;;Mg对原位合成TiB_2/Al-7Si复合材料的微观组织及力学性能的影响[J];中国有色金属学报;2009年09期
8	陈金兰;秦家千;王江华;张剑;李拥军;寇自力;;硼基超硬材料的研究进展[J];工具技术;2010年04期
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10	程国君;于秀华;唐忠锋;徐初阳;;改性煤矸石粉/SBS复合材料的制备及性能研究[J];塑料工业;2010年11期
11	郭可信;金属陶瓷[J];物理;1959年12期
12	蔡延庆,王德海,黄兴耀;紫外光固化材料表面性能的研究[J];涂料工业;2005年05期
13	刘利国;葛世荣;韩东太;王庆良;朱华;;玻璃粉/尼龙1010复合材料摩擦学性能研究[J];中国矿业大学学报;2006年01期
14	曹猛;李强;杨莹;邓湘云;李德军;;离子束流和基底温度对ZrN/TiAlN纳米多层膜性能的影响[J];真空科学与技术学报;2008年S1期
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16	赵栋才;任妮;马占吉;肖更竭;武生虎;;七种金属基底上类金刚石膜的过渡层制备研究[J];真空科学与技术学报;2008年04期
17	张靖宗;纪全;马晓梅;孔庆山;夏延致;;MWNTs/PET纳米复合材料的研究(英文)[J];科学技术与工程;2009年08期
18	于杰;陈敬超;张尧翠;洪振军;;FeS/Cu材料动态再结晶行为与性能研究[J];热加工工艺;2009年22期
19	王新筑;吴林志;王世勋;;闭孔铝泡沫在静压痕下的力学响应[J];复合材料学报;2010年02期
20	李玉峰;喇培清;陈明霞;路阳;;不同压力下的热压加工对含Mn块体纳米晶Fe3Al组织和性能的影响[J];塑性工程学报;2010年04期

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1	金上校;曹猛;邓湘云;李德军;;调制周期对ZrB_2/BN纳米多层膜结构和性能的影响[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年
2	谭明;曹猛;邓湘云;李德军;;利用离子束辅助沉积技术合成ZrB2／AlN纳米多层膜的研究[A];第七届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛论文集（一）[C];2008年
3	顾颖波;黄建斌;王从曾;张连宝;苏学宽;;多弧离子镀TiN／Cu多层复合纳米膜研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
4	马占吉;肖更竭;武生虎;任妮;;Ti／TiN多层厚膜力学性能研究[A];中国真空学会2006年学术会议论文摘要集[C];2006年
5	吴现成;王博;严辉;陈光华;;工艺参数对CN_x薄膜结构和特性的影响[A];第四届中国功能材料及其应用学术会议论文集[C];2001年
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8	杨瑾;王明霞;李德军;;ZrN、WN的调制比例对ZrN/WN纳米多层膜结构与机械性能的影响[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
9	陈友明;杨生荣;张俊彦;;碳含量对BC_xN薄膜结构和性能的影响[A];中国真空学会2008年学术年会论文摘要集[C];2008年
10	王晖;亢原彬;邓湘云;李德军;;用磁控溅射合成的AlN/ZrB_2纳米多层膜的微结构与机械性能[A];2008全国功能材料科技与产业高层论坛论文集[C];2008年

中国博士学位论文全文数据库

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2	李冠群;VC基纳米多层膜的微结构与超硬效应[D];上海交通大学;2011年
3	岳建岭;硬质纳米多层膜的微结构与超硬效应[D];上海交通大学;2008年
4	郭俐聪;A_3N_4（A=Si,C）硬度的理论研究与B-C-N化合物的高温高压合成[D];燕山大学;2006年
5	李晓东;超磁致伸缩纳米多层膜制备及其性能研究[D];华东师范大学;2008年
6	秦秀娟;纳米氧化锌常压/超高压下的烧结及其结构与性能[D];燕山大学;2005年
7	冯海阔;铝合金熔体的超声处理及表面复合材料的超声法制备[D];吉林大学;2008年
8	冯万里;纳米复合PZT压电陶瓷的制备及其力学性能研究[D];哈尔滨工程大学;2008年
9	罗岚;钆铝酸盐基发光材料的组合芯片法研究[D];南昌大学;2008年
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中国硕士学位论文全文数据库

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1	刘思鹏;射频磁控溅射制备TiB_2/TiAlN纳米多层膜和BaTiO_3薄膜的研究[D];天津师范大学;2009年
2	孙学勤;B-C-N体系的第一性原理研究[D];山东大学;2005年
3	袁晓明;碳化硅颗粒增强铝基复合材料的制备及其摩擦学性能研究[D];兰州大学;2006年
4	谭明;离子束辅助沉积ZrB_2/AlN和ZrB_2/WN_x纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2009年
5	介星迪;电沉积制备镍铜纳米多层膜的工艺及组织与性能研究[D];昆明理工大学;2010年
6	刘广庆;磁控溅射技术设计合成ReB_2/TaN纳米多层膜的研究[D];天津师范大学;2011年
7	刘国涛;溅射沉积Cu/Mo纳米多层膜结构与性能研究[D];昆明理工大学;2012年
8	付延争;Ti/TiN、TiN/CrN和TiN（NbN）/SiNx纳米多层膜界面第一原理研究[D];吉林大学;2008年
9	李广泽;TiN/zrN纳米多层膜的微结构与力学性能[D];上海交通大学;2010年
10	陈蓉;CN_x基纳米复合及多层薄膜的制备与机械性能[D];浙江大学;2012年

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前10条

1	记者董映璧;金刚石复合材料生产有新法[N];科技日报;2002年
2	张祎李敏;简述器皿玻璃生产[N];山西科技报;2004年
3	毛黎;美开发出耐高温超强超硬纳米晶体铁合金[N];科技日报;2008年
4	刘共华;日本开发出可记忆形状的塑料[N];中国化工报;2002年
5	窦光宇;“金属王国”的多面手[N];中国矿业报;2000年
6	本报记者张亮;微小橡胶球让塑料弹起来[N];科技日报;2005年
7	;如何获得挺性好的复合薄膜[N];中国包装报;2002年
8	晓马;金属陶瓷[N];中国建材报;2003年
9	吴玉程张立德李广海姜治蔡伟平;纳米涂层材料的发展[N];科技日报;2000年
10	尹卫平孟凡玉张万庆;济钢在钢包上试用纳米绝热材料[N];世界金属导报;2005年

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