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纳米多层膜塑性变形及其Hall-Petch表征

刘明霞  徐可为  
【摘要】:采用直流磁控溅射制备了不同调制波长的 Ni/Al 多层膜,利用 X 射线衍射技术(XRD)和纳米亚痕仪对薄膜微结构及力学性能进行了系统研究.结果表明,Ni/Al 多层膜呈现纳米晶结构特征;同时,随调制波长减小,多层膜的硬度与“软”相的微结构特征参量具有相似变化规律,表明多层膜的变形机制对软膜的微结构约束存在敏感性.随薄膜特征尺度的减小,通过提出一个与软膜相关的新的表征参量(L_(sub)/d,L 表示亚层厚,d 表示晶粒尺寸,下标代表亚层),对多层膜晶界强化和膜界强化两种机制进行了协调统一,使薄膜变形在整个尺度范围内较好的符合 Hall-Petch 关系.

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