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《第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)》2007年
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Cu_2O薄膜磁控溅射制备及特性分析

陈德明  徐刚  
【摘要】:采用反应射频磁控溅射法,在氩-氧氛围制备 Cu-O 体系薄膜.在溅射功率、氩气流量一定的条件下, 通过改变氧分压,得到不同成份的 Cu-O 体系薄膜.在氧分压较小条件下,薄膜中主要以金属铜为主,存在少量的 Cu_2O,随着氧分压的增加,Cu_2O 成分增加,在氧分压1.42×10~(-2)Pa 时得到单相 Cu_2O 薄膜.随着氧分压继续增加,Cu_2O 逐渐转变成 CuO.薄膜成份通过 X 射线分析,薄膜电阻率采用四探针仪测量,薄膜光学特性采用紫外-可见光谱分析,并计算出本次实验所得单相 Cu_2O 光学带隙为2.51eV.

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8 徐晓华,牛智川,倪海桥,徐应强,张纬,贺正宏,韩勤,吴荣汉,江德生;分子束外延生长的(GaAs_(1-x)Sb_x In_yGa_(1-y)As)GaAs量子阱光致发光谱研究[J];物理学报;2005年06期
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