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《第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)》2007年
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用于HIT太阳能电池的本征非晶硅薄膜

宋佩珂  曾祥斌  张锐  赵伯芳  
【摘要】:带本征薄层的异质结(HIT)太阳能电池要求本征非晶硅薄膜具有生长速率低,暗电导大,光学带隙宽的特点.采用等离子增强化学气相沉积(PECVD)制备符合 HIT 太阳能电池要求的本征非晶硅薄膜,并通过分析薄膜的透射光谱,采用 Tauc 法计算了薄膜的光学带隙, 为约1.87eV.,衬底温度为180℃,放电功率为80W 时获得的薄膜性能最佳.

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【共引文献】
中国期刊全文数据库 前6条
1 杨国伟;高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析[J];半导体技术;1998年04期
2 郭述文,朱基千,谭淞生,王渭源;氢气放电无窗输出型光CVD非晶、微晶硅薄膜[J];半导体学报;1989年10期
3 刘正堂,朱景芝,许念坎,郑修麟;射频反应溅射Ge_xC_(1-x)薄膜的特性[J];红外技术;1996年05期
4 余云鹏,林舜辉,黄翀,林璇英;非晶硅薄膜厚度均匀性对其透射光谱的影响[J];汕头大学学报(自然科学版);2004年01期
5 余云鹏,林舜辉,黄翀,林璇英;基片光学特性对薄膜光强透过谱的影响[J];物理实验;2004年05期
6 张志勇;a-Si_(1-x)N_x:H光敏材料的研究[J];西北大学学报(自然科学版);1995年03期
中国博士学位论文全文数据库 前5条
1 宋雪梅;化学气相沉积硅基薄膜的性能及机理研究[D];北京工业大学;2003年
2 伞海生;透明导电薄膜CdIn_2O_4的研究和高速光电探测器频响的测量[D];兰州大学;2006年
3 顾少轩;GeS_2-Ga_2S_3-CdS体系非线性光学玻璃的制备、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2006年
4 郭海涛;GeS_2基硫系非线性光学玻璃的形成、结构与性能研究[D];武汉理工大学;2007年
5 于化丛;氢化纳米硅(na-Si:H)薄膜太阳电池研究[D];上海交通大学;2005年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
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2 张延生;柔性衬底上非晶硅薄膜太阳电池的材料研究[D];河北工业大学;2002年
3 郝国强;非晶硅薄膜太阳电池的研究[D];河北工业大学;2003年
4 芦奇力;MWECR CVD制备:a-Si:H薄膜的沉积速率研究和红外分析[D];北京工业大学;2003年
5 于春娜;两步法高质量立方氮化硼薄膜的制备和掺杂研究[D];北京工业大学;2003年
6 王青;MW-ECR CVD制备氢化非晶硅薄膜之光电特性研究[D];北京工业大学;2004年
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10 刘钧锴;高质量立方氮化硼薄膜的制备和光电特性研究[D];北京工业大学;2006年
【同被引文献】
中国硕士学位论文全文数据库 前1条
1 王敏花;RF-PECVD制备非晶硅膜及HIT太阳电池的研究[D];河北工业大学;2007年
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 史少飞;吴爱民;张学宇;姜辛;;HIT太阳能电池的发展概况[J];材料导报;2011年13期
2 ;[J];;年期
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4 ;[J];;年期
5 ;[J];;年期
6 ;[J];;年期
7 ;[J];;年期
8 ;[J];;年期
9 ;[J];;年期
10 ;[J];;年期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 宋佩珂;曾祥斌;张锐;赵伯芳;;用于HIT太阳能电池的本征非晶硅薄膜[A];第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(4)[C];2007年
中国重要报纸全文数据库 前10条
1 高智杰;世界最大HIT太阳能发电厂建成[N];中国建材报;2011年
2 本报记者 张媛源;HIT战略发展目标瞄准中国[N];中华工商时报;2008年
3 本报记者 董鸿乐;HIT赶在圣诞节前带着托马斯进中国[N];国际商报;2008年
4 本报记者 王雪敏;关注HIT,善用替代抗凝药物[N];医药经济报;2010年
5 本报记者 张明;比尔·盖茨上海论“剑”[N];中国计算机报;2001年
6 本刊记者 李建平;微软培养软件“MBA”[N];计算机世界;2001年
7 太可;电子市集在中国前景如何?[N];中国计算机报;2000年
8 胡奇;ActionScript在Flash课件中的应用[N];中国电脑教育报;2002年
9 高原;品牌价值说[N];中国保险报;2001年
10 本报记者 程鸿;走上持续发展之路[N];计算机世界;2001年
中国硕士学位论文全文数据库 前7条
1 王淑珍;HIT太阳电池硅片处理及复合透明导电膜的研究[D];江南大学;2010年
2 宋佩珂;带本征薄层异质结太阳能电池关键技术的研究[D];华中科技大学;2008年
3 高亚玥;肝素制剂应用患者中HIT抗体的检测及评价[D];北京协和医学院;2010年
4 陈肖静;HIT电池表面钝化技术及ZnO透明导电膜的研究[D];江南大学;2009年
5 铁剑锐;PECVD制备非晶硅薄膜及其对HIT太阳电池性能的影响[D];北京交通大学;2011年
6 史少飞;HIT太阳能电池材料的制备与性能研究[D];大连理工大学;2012年
7 曾瑜;非晶硅/晶硅异质结太阳能电池制备技术的研究[D];华中科技大学;2011年
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