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《第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)》2007年
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溶胶-凝胶法制备ZnO:Al导电薄膜的研究

孙福来  谭红琳  
【摘要】:采用溶胶-凝胶工艺在普通载玻片上制备出 C 轴择优取向的 ZnO:Al 透明导电薄膜.利用扫描电镜 (SEM)、X 射线衍射仪(XRD)等分析手段对薄膜进行了表征.通过标准四探针法及紫外分光光度计(UVS)透射光谱研究了 ZnO:Al 薄膜的电学与光学性能.实验发现:当 Al~(3+)离子掺杂浓度为2%(原子分数),前处理温度为 220℃、退火温度为580℃时,薄膜具有较好的导电性, 电阻率为1.76×10~(-3)Ω·cm,其在可见光的平均透射率在 80%左右。

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