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《第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)》2007年
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铁电薄膜退火方法的研究

田雪雁  徐征  
【摘要】:以锆钛酸铅薄膜(PZT)为例,分析了国内外铁电薄膜退火的各种方法.针对解决铁电薄膜基底高温生长工艺与硅集成电路承受温度较低的不兼容及器件性质劣化的难题,分别对普通炉子退火、快速热退火及激光退火进行了详细的分析比较.激光低温退火技术有望成功地在未来应用 PZT 铁电薄膜制作组件时,增加其制备工艺设计的弹性和可行性.

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