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《第六届中国功能材料及其应用学术会议论文集(2)》2007年
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1-3型压电复合材料电极的制备

万媛媛  李莉  王丽坤  秦雷  魏兵  
【摘要】:采用磁控溅射工艺以 Cu、Ag 为靶材在1-3 型压电复合材料表面制备电极.研究了两种金属材料的溅射镀膜工艺,系统地分析了溅射功率对金属沉积速率、电极导电性能及附着力的影响.结果表明,两种金属的沉积速率随溅射功率的增加呈线性增加,电极方阻及电阻率均随功率增大而减小,溅射功率为100W 时电极的附着力较好.

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