收藏本站
《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ》2004年
收藏 | 手机打开
二维码
手机客户端打开本文

用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的光电性能研究

王银玲  李美成  李洪涛  赵连城  
【摘要】:采用磁控溅射方法在p-Si(100)衬底上制备了VO2和择优取向的V6O13混合相成分的薄膜.利用X射线衍射(XRD)分析、原子力显微镜(AFM)、傅立叶红外光谱(FT-IR)分析及四探针测试方法,研究了薄膜的相成分和红外吸收特性,并测试分析了薄膜的电学热稳定性.研究结果表明,通过这种方法制备的氧化钒薄膜具有较低的电阻率和较高的电阻温度系数(TCR),并且具有良好的热稳定性,可以作为微测辐射热计的热敏材料.

手机知网App
【参考文献】
中国期刊全文数据库 前2条
1 曹永峰,蒋玉龙,段鹏,茹国平,李炳宗,陈永平;用于微测辐射热计的氧化矾热敏材料的温度特性[J];半导体技术;2002年05期
2 苏吉儒,魏建华,庄继胜;赴向21世纪的非制冷热成像技术[J];红外与激光工程;1999年03期
【共引文献】
中国期刊全文数据库 前3条
1 韩琳;刘兴明;刘理天;;用于红外探测的非晶硅薄膜晶体管[J];半导体光电;2006年04期
2 黎文模;陈向东;段晓峰;;氧化钒热敏薄膜非致冷红外探测器的等效模型[J];传感器与微系统;2006年09期
3 范茂彦;姜胜林;张丽芳;;红外焦平面硅基通孔加工及电极互连技术[J];电子技术应用;2011年03期
中国重要会议论文全文数据库 前1条
1 黎文模;陈向东;;氧化钒薄膜电阻PSPICE模型及特性分析[A];2004全国图像传感器技术学术交流会议论文集[C];2004年
中国博士学位论文全文数据库 前6条
1 汪涛;UMBIRFPA的计算机仿真及非均匀性校正研究[D];重庆大学;2001年
2 贾功贤;基于VI的IRFPA ROIC参数测试及热释电FPA凝视成像技术研究[D];重庆大学;2001年
3 张晓飞;基于DSP的红外焦平面阵列非均匀性校正技术研究[D];重庆大学;2002年
4 袁宁一;氧化钒红外敏感膜和非致冷焦平面成像阵列研究[D];中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所);2002年
5 范茂彦;BST厚膜非制冷红外焦平面阵列结构及特性研究[D];华中科技大学;2009年
6 隋修宝;非制冷凝视热像仪成像理论以及关键技术研究[D];南京理工大学;2009年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 陶嫄;非制冷热成像中OLED显示驱动技术研究[D];南京理工大学;2011年
2 阙旻;320×240非制冷红外焦平面探测器测试系统的研究与实现[D];电子科技大学;2011年
3 张杰;红外热成像测温技术及其应用研究[D];电子科技大学;2011年
4 张帆;基于VC++的红外热成像测试系统设计[D];电子科技大学;2011年
5 吴磊;消防单兵侦察系统[D];山东大学;2011年
6 夏朋浩;非制冷热成像信号处理与压缩技术研究[D];南京理工大学;2012年
7 杨跃;红外热辐射计结构优化设计与器件制备[D];北京邮电大学;2012年
8 邓莉;64×64非致冷红外焦平面器件读出信号处理电路设计[D];电子科技大学;2002年
9 张蜀平;氧化钒薄膜的制备及特性研究[D];电子科技大学;2002年
10 罗辑;非致冷微测辐射热计电路研究[D];电子科技大学;2002年
【二级参考文献】
中国期刊全文数据库 前1条
1 杨亚生;测辐射热计红外焦平面列阵[J];半导体技术;1999年02期
【相似文献】
中国期刊全文数据库 前10条
1 彭红瑞;丁洁;李桂村;;一维钼掺杂氧化钒纳米结构的制备及表征[J];青岛科技大学学报(自然科学版);2010年03期
2 刘兴海;王燕;黎厚斌;黄驰;陈松洲;;智能控温包装纳米材料的制备与表征[J];中国印刷与包装研究;2010年S1期
3 韩雷;胡明;吕宇强;梁继然;刘志刚;;对靶磁控溅射制备VO_x薄膜及其退火研究[J];传感器与微系统;2007年07期
4 喻丽华;何林;闫建伟;;纳米SiC改性酚醛树脂的热稳定性[J];高分子材料科学与工程;2007年03期
5 冉均国;冉旭;芶立;苏葆辉;黄成福;李洋;;微波加速合成含碳酸根纳米羟基磷灰石[J];稀有金属材料与工程;2007年S1期
6 许树强;金头男;;层状Li_xCo_(1/3)Ni_(1/3)Mn_(1/3)O_2(0.5≤x≤1)的结构转变及其热稳定性研究[J];材料导报;2008年11期
7 安建成;廖立兵;;层状结构钒磷酸盐(pipzH_2)_2[(VO)_3(HPO_4)_2(PO_4)_2]·H_2O的水热合成及热稳定性研究[J];人工晶体学报;2008年06期
8 冯士光;第二种人造超硬材料——立方氮化硼[J];大自然探索;1984年01期
9 冯群;冯敏英;王亦忠;王震西;;Fe-Co-Si-B非晶态溅射薄膜的热稳定性[J];金属学报;1987年03期
10 邵奎甦;苏勉曾;;改进(La、Ce、Tb)PO_4发光的热稳定性[J];功能材料;1992年06期
中国重要会议论文全文数据库 前10条
1 王银玲;李美成;李洪涛;赵连城;;用于微测辐射热计的氧化钒薄膜的光电性能研究[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅲ[C];2004年
2 吴淼;胡明;刘志刚;;直流对靶溅射制备氧化钒薄膜的研究[A];中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议论文摘要集[C];2004年
3 刘安栋;杨桂生;;浇铸尼龙/蒙脱土纳米复合材料的研究[A];复合材料——基础、创新、高效:第十四届全国复合材料学术会议论文集(下)[C];2006年
4 夏明许;郑红星;李建国;;新型Ti基金属玻璃CMF测量管材料的制备[A];第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅱ[C];2004年
5 吴志立;陈涛;曹保胜;高珺;雷明凯;;Fe/Ti纳米多层薄膜的热稳定性研究[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
6 王明旭;张广安;吴志国;范晓彦;闫鹏勋;;Ar对柱状靶多弧直流磁控溅射制备的Cu_3N薄膜的沉积速率、结构、形貌和热稳定的影响[A];第六届全国表面工程学术会议暨首届青年表面工程学术论坛论文集[C];2006年
7 吴志立;陈涛;曹保胜;高珺;雷明凯;;Fe/Ti纳米多层薄膜的热稳定性研究[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
8 王明旭;张广安;吴志国;范晓彦;闫鹏勋;;Ar对柱状靶多弧直流磁控溅射制备的Cu_3N薄膜的沉积速率、结构、形貌和热稳定的影响[A];第六届全国表面工程学术会议论文集[C];2006年
9 毛晓阳;潘胜伟;谢众;陈辰;庄启昕;刘小云;韩哲文;;原位聚合法制备苯并噁唑类/多壁碳纳米管复合材料研究[A];2009年全国高分子学术论文报告会论文摘要集(下册)[C];2009年
10 吴标理;卢斌;易丹青;陈小丽;张霞;严彪;殷俊林;陆伟;;Fe_(78)Si_9B_(13)非晶合金的超高压成型[A];第五届海峡两岸粉末冶金技术研讨会论文集[C];2004年
中国重要报纸全文数据库 前8条
1 周有恒;前程似锦的新材料———碳纳米管[N];中国化工报;2002年
2 范桂兰;纳米材料过热领域有重要突破[N];中国轻工报;2000年
3 李萍;纳米材料研究突破传统理论[N];人民日报;2000年
4 刘英楠;新方法捕获纳米材料详细信息[N];中国高新技术产业导报;2005年
5 ;美国研制新型耐高温铝合金[N];中国有色金属报;2002年
6 崔晋;稀土复合氧化物催化材料研究及应用获进展[N];中国有色金属报;2003年
7 ;一种发光粉包封膜的制备方法[N];中国包装报;2004年
8 ;高导热低膨胀复合材料及其制备工艺[N];中国有色金属报;2003年
中国博士学位论文全文数据库 前10条
1 蔡桂鹏;聚酰胺6,聚碳酸酯/热稳定性蒙脱土纳米复合材料的阻燃性质研究[D];山东大学;2010年
2 葛继平;形变Cu-Fe原位复合材料[D];大连交通大学;2005年
3 吴大雄;纳米LaF_3的制备及热稳定性、导电性能研究[D];浙江大学;2006年
4 夏雷;Nd-Al-Fe-Co大块非晶的非晶形成能力、磁性和显微结构研究[D];上海大学;2004年
5 王庆国;超细全硫化粉末橡胶及其纳米无机填料复合体系对硬质聚氯乙烯的改性研究[D];北京化工大学;2006年
6 魏菊;杂萘联苯聚醚砜酮超滤膜及其复合膜的研究[D];大连理工大学;2007年
7 杜杰;生物降解性液晶高分子材料的合成与性能研究[D];大连理工大学;2008年
8 丁严艳;新型聚合物/氢氧化合物纳米复合材料的制备、热稳定性及阻燃机理研究[D];中国科学技术大学;2008年
9 武春瑞;杂萘联苯聚醚酰胺超滤膜及其复合膜的研究[D];大连理工大学;2006年
10 王丽丽;直流磁控溅射纳米晶Fe-N薄膜的研究[D];吉林大学;2007年
中国硕士学位论文全文数据库 前10条
1 付长城;溶胶—凝胶法制备稀土配合物/SiO_2发光材料的研究[D];中南大学;2005年
2 方建强;CPVC及CPVC/PVC合金的性能研究[D];南京工业大学;2004年
3 陆洪彬;稳定钛酸铝及钛酸铝—莫来石复相陶瓷的研究[D];南京工业大学;2006年
4 丁靓;新型一价铜前驱物的制备及其用于化学气相沉积铜薄膜的研究[D];浙江大学;2010年
5 杨春秀;镁基块体非晶合金的制备及性能研究[D];兰州理工大学;2005年
6 邱诗龙;Ti6Al4V和工业纯钛表面纳米化与性能研究[D];大连交通大学;2005年
7 王僧山;修饰方式对蒙脱土及其聚丙烯复合材料性能的影响[D];合肥工业大学;2006年
8 陈成;有机膦插层蒙脱土/PA-6纳米复合材料的制备与性能[D];东北林业大学;2007年
9 赵青才;快速凝固AZ91镁合金及SiCp/AZ91镁基复合材料的研究[D];湖南大学;2008年
10 王亚强;纳米SiO_2/聚丙烯酸酯复合乳液的制备、表征及应用[D];湖南大学;2006年
 快捷付款方式  订购知网充值卡  订购热线  帮助中心
  • 400-819-9993
  • 010-62791813
  • 010-62985026